1.一种同轴等离子体炬，其特征是，包括依次设置的连接线(1)、谐振壳体(2)和外壁顶(7)；

所述谐振壳体(2)内的谐振腔(8)内壁设有金属柱(4)；

所述连接线(1)中的内导体(3)一端伸入谐振腔(8)中，且内导体(3)的端部与金属柱(4)间隔设置；

所述金属柱(4)设有内芯(6)，内芯(6)内置有孔道，内芯(6)一端伸入外壁顶(7)内；

所述谐振壳体(2)和/或金属柱(4)设有与孔道连通的气道(5)；

该同轴等离子体炬工作时：

所述内导体(3)构成阻抗Z0；

所述内导体(3)与金属圆柱之间构成电容C1；

所述金属柱(4)与谐振腔(8)内壁之间构成电感L1；

所述内芯(6)外壁与谐振腔(8)内壁之间构成电感L2；

所述内芯(6)与外壁顶(7)之间构成电容C2；

所述内芯(6)喷出的等离子体构成阻抗ZL；

以及，阻抗Z0、电容C1、电感L1、电感L2、电容C2和阻抗ZL组成谐振电路。

2.根据权利要求1所述的一种同轴等离子体炬，其特征是，所述连接线(1)、内导体(3)、谐振腔(8)、内芯(6)、孔道以及外壁顶(7)均同轴设置。

3.根据权利要求1所述的一种同轴等离子体炬，其特征是，所述金属柱(4)为金属圆柱，金属圆柱的轴线方向沿谐振腔(8)的半径方向设置。

4.根据权利要求1所述的一种同轴等离子体炬，其特征是，所述外壁顶(7)为封闭顶，封闭顶设有供等离子体穿出的气孔；或，外壁顶(7)为呈环状的开放顶。

5.根据权利要求1所述的一种同轴等离子体炬，其特征是，所述内导体(3)与金属圆柱之间设有正对斜面。

6.一种低功率微波微等离子体激发装置，其特征是，包括微波源(9)、气体发生装置(10)以及如权利要求1‑5任意一项所述的一种同轴等离子体炬；所述微波源(9)的输出端与连接线(1)连接；所述气体发生装置(10)的输出端与气道(5)连接。

7.根据权利要求6所述的一种低功率微波微等离子体激发装置，其特征是，所述微波源(9)为磁控管或微波固态源。

8.根据权利要求6所述的一种低功率微波微等离子体激发装置，其特征是，所述连接线(1)为同轴线或同轴线与波导的组合线。

9.根据权利要求6所述的一种低功率微波微等离子体激发装置，其特征是，该低功率微波微等离子体激发装置的工作频率范围为300MHz‑50GHz。