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专利号: 2021111481626
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-19
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种基于伯努利原理的真空吸气式干气密封结构,包括动环(1)、静环(2)、弹性元件(3)、辅助密封(4)和静环座(5),其特征在于:所述静环(2)置于静环座(5)内,所述静环(2)与静环座(5)之间设有辅助密封(4),所述静环(2)与动环(1)之间形成密封间隙(11),所述静环(2)背部设有压力平衡腔(51),所述静环(2)背部设有缓冲气孔(21),所述缓冲气孔(21)与压力平衡腔(51)之间设有堵头(22)以阻断连通,所述缓冲气孔(21)通过通气孔(23)与静环座(5)上的进气孔(52)相连通,所述静环(2)密封端面设有多个周向均布的锥形槽(24),所述锥形槽(24)与缓冲气孔(21)之间通过通孔(25)相连通,所述锥形槽(24)中心固定有吸盘芯(26),吸盘芯端面(261)与动环端面(12)的间距大于密封间隙(11),所述吸盘芯(26)与锥形槽(24)之间具有流通间隙(27);所述静环(2)与固定于静环座(5)上的螺钉(54)之间设有弹性元件(3)。

2.根据权利要求1所述的一种基于伯努利原理的真空吸气式干气密封结构,其特征在于:所述压力平衡腔(51)通过通气孔(53)与外界环境相连通。

3.根据权利要求2所述的一种基于伯努利原理的真空吸气式干气密封结构,其特征在于:所述吸盘芯(26)与锥形槽(24)底面之间设有调节垫片(28),通过调节垫片(28)调整所述吸盘芯(26)背部的流通间隙(27)及吸盘芯端面(261)与动环端面(12)间距。

4.根据权利要求2所述的一种基于伯努利原理的真空吸气式干气密封结构,其特征在于:所述密封间隙(11)为20‑200μm,所述吸盘芯端面(261)与动环端面(12)之间的间距为

0.1‑0.5mm。