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专利号: 2021109183224
申请人: 浙江中晶新能源股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池,其特征在于:包括P型硅基体(1)、遂穿超薄氧化层(2)、非晶硅N+层(3)、氮化硅钝化膜(4)、局域硼背场(5)、金属正电极(6)和金属负电极(7),所述P型硅基体(1)的正面设置为绒面,所述P型硅基体(1)的背面设置有遂穿超薄氧化层(2),所述遂穿超薄氧化层(2)上设置有磷掺杂退火的非晶硅N+层(3),所述非晶硅N+层(3)的外侧设置有氮化硅钝化膜(4),所述P型硅基体(1)的背面设置有局域硼背场(5),所述P型硅基体(1)的背面沉积隔离掩膜,采用激光蚀刻在隔离掩膜上蚀刻显露出局域硼背场(5)区域的P型硅基体(1)的背面,在蚀刻区域进行硼注入,激光烧蚀形成局域硼背场(5),化学腐蚀清除所有的隔离掩膜,所述局域硼背场(5)穿透氮化硅钝化膜(4)连接有金属正电极(6),所述非晶硅N+层(3)上连接有金属负电极(7)。

2.如权利要求1所述的一种P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池,其特征在于:所述P型硅基体(1)的正面设置为蜂窝状绒面。

3.如权利要求1所述的一种P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池,其特征在于:所述P型硅基体(1)的正面依次设置有氧化硅钝化层(8)和氮氧化硅减反层(9)。

4.如权利要求1所述的一种P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池,其特征在于:所述P型硅基体(1)为P型单晶硅或P型多晶硅,所述P型硅基体(1)的厚度为400‑500微米。

5.一种P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤一:以P型硅基体(1)为衬底,采用金属催化化学刻蚀法湿法制绒处理在P型硅基体(1)的正面制备绒面,对P型硅基体(1)进行超声波清洗沥干水分;

步骤二:在步骤一处理后的P型硅基体(1)的正面依次沉积氧化硅钝化层(8)和氮氧化硅减反层(9);

步骤三:在步骤二处理后的P型硅基体(1)的背面沉积隔离掩膜,采用激光蚀刻在隔离掩膜上蚀刻显露出局域硼背场(5)区域的P型硅基体(1)的背面,在蚀刻区域进行硼注入,激光烧蚀形成局域硼背场(5),化学腐蚀清除所有的隔离掩膜;

步骤四:在步骤三处理后的P型硅基体(1)的背面生长遂穿超薄氧化层(2);

步骤五:在步骤四处理后的P型硅基体(1)的遂穿超薄氧化层(2)上通过磷掺杂高温退火的方式形成非晶硅N+层(3);

步骤六:在步骤五处理后的P型硅基体(1)的非晶硅N+层(3)上沉积氮化硅钝化膜(4);

步骤七:在步骤六处理后的P型硅基体(1)的局域硼背场(5)对应区域蚀刻出局域硼背场(5)电极接入点,连接金属正电极(6),在非晶硅N+层(3)上连接金属负电极(7);

步骤八:在步骤七处理后的P型硅基体(1)表面进行浆料丝网印花,低温烧结后完成电池片的制备。