1.一种多孔氮化硅陶瓷零件的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：（a）制备混合料：

将SiO2、活性炭、助烧剂、硅粉、α‑Si3N4混合，加入总质量的2倍无水乙醇，以α‑Si3N4球作为球磨介质在尼龙罐中球磨1~2h，干燥，过200目筛，然后与粘结剂混合；SiO2粉末粒径D50≤1µm，纯度99.5%以上；硅粉为工业硅粉，粒径D50≤1µm，纯度99.5%以上；

α‑Si3N4中α相＞95%，粉末粒径为1~10µm；

活性炭粒径D50≤100nm；助烧剂为Y2O3；

粘结剂为双酚A型环氧树脂，粒径为10‑50μm；粘结剂的加入质量与原料的总质量比为

100:5 100:20；

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（b）采用选择性激光烧结技术制作零件素坯：激光器为35~60W的CO2激光器，预加热温度为40~60℃，单层厚度为0.1~0.2mm，扫描间距为0.1 0.2mm，扫描速度800 4000mm/s；采用选择性激光烧结技术制作零件素坯的相对密度~ ~为30% 35%；

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（c）首次真空压力浸渍：

将零件素坯体置入真空箱中，抽真空至100Pa 200Pa，保压15 60min后注入8% 30%浓度~ ~ ~的纳米α‑Si3N4悬浮液浸没，真空保持10min~20min，常压静置15min~60min，充入氮气对浸渍液渗压20 60min，压力200Pa 300Pa，于80℃～120℃干燥1h～3h，得到首次真空压力浸渍的~ ~零件素坯，将零件素坯使用包套密封包覆后进行抽真空处理；

（d）首次冷等静压处理：

升降压速度2‑8MPa/s，压力升至150 250MPa，保压15 30s再降压；

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（e）排胶处理：

以2 4℃/min的速度升至粘结剂软化点温度减去10℃，再以2℃/min的升温速度升至~

150 170℃，保温1.5h，最后以2℃/min的速度升至粘结剂分解温度加50℃，保温2h；

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（f）对零件素坯第二次真空压力浸渍：（g）第二次冷等静压处理：

升降压速度2MPa/s～4MPa/s，压力升至200 300MPa，保压15 30s再降压；第二次冷等静~ ~压处理后的零件素坯相对密度为58%～62%；

（h）碳热还原反应烧结：

置于1atm的流动氮气气氛烧结炉中，以2 8℃/min速度升至烧结温度，1200℃ 1300℃，~ ~保温1 2h；再以10℃/min将温度升至1700℃ 1800℃，保温2h，得到多孔氮化硅陶瓷零件；

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所述的多孔氮化硅陶瓷零件，由以下质量百分比的原料制造而成：SiO2          30~60%活性炭        10 25%~

硅粉          10 20%~

α‑Si3N4 5~20%助烧剂        3 10%。

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