1.一种制备旋喷一体化涂层的装置,包括电源及控制系统(1)和电机,其特征在于,还包括靶材(2)、电极(3)和基体(4),靶材(2)为圆盘状,电机输出端与靶材(2)中心轴连接,用于驱动靶材(2)做高速旋转,靶材(2)与电源及控制系统(1)中电源的一极连接,电极(3)和基体(4)与电源的另一极连接,电极(3)为板式电极,电极(3)斜设于靶材(2)的切向且与靶材(2)之间的距离可调,电极(3)低端指向靶材(2),电源及控制系统(1)中的控制系统分别与靶材(2)、电极(3)和基体(4)连接,用于控制靶材(2)、电极(3)和基体(4)的移动,电源与电机和控制系统电连接,所述电源为直流电源,空载电压为400V‑1000V,所述高速旋转中高速为靶材(2)外缘线速度不小于100m/s。
2.根据权利要求1所述的一种制备旋喷一体化涂层的装置,其特征在于,所述靶材(2)、‑3基体(4)和电极(3)为导电材料,所述导电材料为金属单质或合金,电阻率小于1×10 Ω·m。
3.根据权利要求2所述的一种制备旋喷一体化涂层的装置,其特征在于,所述空载电压为600V。
4.根据权利要求1所述的一种制备旋喷一体化涂层的装置,其特征在于,所述电极(3)为钨、钼或碳电极。
5.根据权利要求1所述的一种制备旋喷一体化涂层的装置,其特征在于,所述电极(3)为钨电极。
6.根据权利要求1所述的一种制备旋喷一体化涂层的装置,其特征在于,所述高速旋转中高速为10000r/min,靶材直径200 mm。
7.基于权利要求1 6中任一所述的装置制备旋喷一体化涂层的方法,其特征在于,步骤~
如下:
步骤一. 将靶材(2)接电源的一极,电极(3)和基体(4)接电源的另一极,同时,靶材(2)由电机带动做高速旋转;
步骤二. 涂层制备前,通过控制系统调节靶材(2)和基体(4)的间隙,使靶材与基体(4)产生放电,同时通过控制系统驱动基体(4)运动,从而在基体(4)表面上待制备涂层区域形成离散的凹坑,完成粗化过程;
步骤三. 通过控制系统调节靶材(2)、电极(3)和基体(4)的间隙,使靶材(2)与电极(3)产生放电并保持持续放电状态,同时驱动基体(4)运动,使放电产生的高温将靶材(2)对应区域的材料熔化成小液滴,熔融的液滴将在离心力的作用下牢固粘附到基体(4)待制备涂层区域,从而形成涂层,同时,当制备的涂层超过设置的厚度时,靶材(2)将与涂层产生放电,去除多余的涂层,最终实现精确厚度涂层的制备。