1.一种电控谐振耦合的人工表面等离激元级联慢光器件，其特征在于：包括：介质基板（1），所述介质基板（1）上印制有人工表面等离激元传输线（2）；

所述人工表面等离激元传输线（2）的传输方向上设置有至少一组功能单元（3）；

每组功能单元（3）包括：对称分布在人工表面等离激元传输线（2）传输方向两侧的明暗模谐振结构对，所述明暗模谐振结构对包括：设置在内侧的是明模谐振结构，和设置在外侧的是暗模谐振结构；

所述暗模谐振结构上设置有PIN二极管，通过控制PIN二极管的通断状态，以控制明暗模谐振结构之间的相互耦合，从而改变人工表面等离激元的群速度和传播特性；

所述明模谐振结构包括：两个结构相同、对称设置在人工表面等离激元传输线（2）两侧的明模方形开口金属环（4），所述暗模谐振结构包括：两个结构相同、对称设置在人工表面等离激元传输线（2）两侧的暗模方形开口金属环（5）；所述明模方形开口金属环（4）的边长与暗模方形开口金属环（5）的边长相同；

每个所述明模方形开口金属环（4）上、垂直于人工表面等离激元传输线（2）的一侧边设置有第一开口（g1）；

每个所述暗模方形开口金属环（5）上、垂直于人工表面等离激元传输线（2）的两个侧边分别设置有第二开口（g2）和第三开口（g3），且所述第一开口（g1）和所述第二开口（g2）平行设置；

所述PIN二极管设置在所述第三开口（g3）上。

2.根据权利要求1所述的一种电控谐振耦合的人工表面等离激元级联慢光器件，其特征在于：所述人工表面等离激元传输线（2）包括：馈入端传输线和接受端传输线；

所述馈入端传输线和接受端传输线结构相同、且基于中心对称；

所述馈入端传输线包括：沿人工表面等离激元传输线（2）的传输方向依次布置的共面波导结构（21）、匹配过渡结构（22）和双侧褶皱波导条带结构（23）。

3.根据权利要求2所述的一种电控谐振耦合的人工表面等离激元级联慢光器件，其特征在于：所述匹配过渡结构（22）包括：槽深渐变的褶皱金属条带（221）和两个以褶皱金属条带（221）的中轴线对称的过渡单元（222），所述褶皱金属条带（221）的槽深沿着人工表面等离激元传输线（2）的传输方向递增。

4.根据权利要求2所述的一种电控谐振耦合的人工表面等离激元级联慢光器件，其特征在于：所述双侧褶皱波导条带结构（23）包括：双侧褶皱金属条带。

5.根据权利要求1所述的一种电控谐振耦合的人工表面等离激元级联慢光器件，其特征在于：所述明模方形开口金属环（4）与人工表面等离激元传输线（2）之间的距离为0.5mm，所述暗模方形开口金属环（5）与明模方形开口金属环（4）之间的距离为0.5mm。

6.根据权利要求1所述的一种电控谐振耦合的人工表面等离激元级联慢光器件，其特征在于：所述人工表面等离激元传输线（2）的金属结构层厚度为0.018mm。

7.根据权利要求1所述的一种电控谐振耦合的人工表面等离激元级联慢光器件，其特征在于：所述介质基板（1）的厚度为0.5mm。

8.根据权利要求2所述的一种电控谐振耦合的人工表面等离激元级联慢光器件，其特征在于：所述共面波导结构（21）输入端、输出端的阻抗为 50Ω。