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专利号: 2021108084306
申请人: 苏州溢博伦光电仪器有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,包括激光器、扫描器和成像机构;其特征在于:

扫描器为多面体扫描器;还包括分别与多面体扫描器同一镜面形成的第一光传输路径和第二光传输路径,以及与多面体扫描器另一镜面形成的第三光传输路径;所述第一光传输路径包括设置在多面体扫描器一侧的第一扫描透镜和可变尺寸的狭缝,所述狭缝覆盖在反射镜表面;所述第二光传输路径包括依次设置在多面体扫描器和激光器之间的1/4波片和偏振分束片;所述第三光传输路径包括依次设置在偏振分束片和多面体扫描器之间的光束偏转机构和中继部;

激光器输出线偏振激光依次穿过偏振光束片和1/4波片,经过多面体扫描器和第一扫描透镜聚焦传输至反射镜,聚焦在狭缝外的光束无法被反射,聚焦在狭缝内的光束原路反射至偏振光束片;原路返回再次通过1/4波片的光束的偏振方向与原来垂直,偏振分束片将这些光束反射给光束偏转机构;光束偏转机构将光束进行偏转后发送给中继部;中继部将接收到的光束发送给多面体扫描器;多面体扫描器将中继部发送的光束扫描反射给成像机构;成像机构接收到多面体扫描器反射的光束后对扫描对象进行扫描成像;

其中,光束偏转机构包括两个扫描振镜,一个扫描振镜用于对接收到的光束进行X轴的偏转,另一个扫描振镜用于对接收到的光束进行Y轴的偏转。

2.根据权利要求1所述的用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,其特征在于:中继部包括设置在多面体扫描器和光束偏转机构之间的两个中继透镜,光束偏转机构位于第一个中继透镜的一个焦点处,第一个中继透镜的另一个焦点和第二个中继透镜的一个焦点重合,第二个中继透镜的另一个焦点位于多面体扫描器的镜面上。

3.根据权利要求1所述的用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,其特征在于:反射镜为高反射率的反射镜。

4.根据权利要求1所述的用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,其特征在于:光束偏转机构中的两个扫描振镜分开设置,两个扫描振镜之间设置有两个透镜;一个扫描振镜位于第一个透镜的一个焦点处,第一个透镜的另一个焦点和第二个透镜的一个焦点重合,另一个扫描振镜位于第二个透镜的另一个焦点处。

5.根据权利要求1所述的用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,其特征在于:光束偏转机构中的两个扫描振镜设置在一起。

6.用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,包括激光器、扫描器和成像机构;其特征在于:

扫描器为多面体扫描器,还包括分别与多面体扫描器同一镜面形成的第一光传输路径和第二光传输路径;所述第一光传输路径包括设置在多面体扫描器一侧的第一扫描透镜和可变尺寸的狭缝,所述狭缝远离第一扫描透镜的一侧设置有第二扫描透镜;

所述第二光传输路径为设置在多面体扫描器和激光器之间的线偏振激光传输路径;

激光器输出的光束经多面体扫描器反射后发送给第一扫描透镜,第一扫描透镜将光束准直后发送给狭缝;狭缝将狭缝内的光束穿过发送给第二扫描透镜;第二扫描透镜将光束发送给成像机构;成像机构对扫描对象进行扫描成像;

所述第二扫描透镜连接有第二偏转机构,第二偏转机构包括两组扫描振镜,一组扫描振镜设置在第二扫描透镜和狭缝之间,另一组扫描振镜设置在第二扫描透镜和成像机构之间,两组扫描振镜关于第二扫描透镜对称。

7.根据权利要求6所述的用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,其特征在于:第一扫描透镜与第二扫描透镜的焦距比为1:1。

8.根据权利要求6所述的用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,其特征在于:每组扫描振镜均包括上下设置的两个扫描振镜;两组扫描振镜位于上方的两个扫描振镜之间设置有第三扫描透镜;同一组的两个扫描振镜平行设置;两组扫描振镜均从靠近第三扫描透镜的方向向两侧倾斜设置;所述第三扫描透镜与第二扫描透镜位于同一竖直线上;

其中,第二偏转机构中的一组扫描振镜用于对接收到的光束进行X轴的偏转,另一组扫描振镜用于对接收到的光束进行Y轴的偏转;第二偏转机构将光发送给成像机构扫描成像。

9.根据权利要求8所述的用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,其特征在于:第二扫描透镜与第三扫描透镜的焦距比为1:2.5。

10.根据权利要求1或6所述的用于多个感兴趣区域高速成像的复合扫描器,其特征在于:狭缝为电控可调狭缝。