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专利号: 2021107958793
申请人: 陕西科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种柔性BFMO/ BFCO超晶格薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:将Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、C4H6MnO4·4H2O以摩尔比为1.05:0.95:0.05溶于溶剂中,得到前驱液A;将Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、Cr(NO3)3·9H2O以摩尔比为

1.05:0.95:0.05溶于溶剂中,得到前驱液B;

步骤2:将前驱液A旋涂在单晶氟金云母衬底上,190~220℃温度烘烤8~12min得干膜,再在540~560℃温度下退火8~10min,得晶态的BiFe0.95Mn0.05O3薄膜;

步骤3:将晶态的BiFe0.95Mn0.05O3薄膜冷却至室温,在冷却后的BiFe0.95Mn0.05O3薄膜上旋涂前驱液B,190~220℃温度烘烤8~12min得干膜,再在540~560℃温度下退火8~10min,即在BiFe0.95Mn0.05O3薄膜上制备出晶态的BiFe0.95Cr0.05O3薄膜;

步骤4:依次重复步骤2和步骤3,直到得到所需厚度的BiFe0.95Mn0.05O3/BiFe0.95Cr0.05O3超晶格薄膜;

步骤5:对承载BiFe0.95Mn0.05O3/BiFe0.95Cr0.05O3超晶格薄膜的F‑Mica衬底进行机械剥离得柔性BiFe0.95Mn0.05O3/BiFe0.95Cr0.05O3超晶格薄膜;

步骤1中,溶剂为乙二醇甲醚和醋酸酐;

乙二醇甲醚与醋酸酐的摩尔比是3:1;

步骤1所得前驱液A中,金属离子浓度为0.15‑0.25mol/L;所得前驱液B中,金属离子浓度为0.15‑0.25mol/L。

2.根据权利要求1所述的柔性BFMO/ BFCO超晶格薄膜的制备方法,其特征在于,步骤2和步骤3中,旋涂采用的匀胶转速为3800~4000r/min,匀胶时间为15~17s。

3.根据权利要求1所述的柔性BFMO/ BFCO超晶格薄膜的制备方法,其特征在于,步骤2和步骤3重复进行2‑6次。

4.根据权利要求1所述的柔性BFMO/ BFCO超晶格薄膜的制备方法,其特征在于,单晶氟金云母衬底在使用之前经过乙醇溶液超声清洗和紫外光辐照处理。

5.权利要求1‑4任一项所述的制备方法制备得到的柔性BFMO/ BFCO超晶格薄膜,其特征在于,超晶格薄膜含有空间群为R3c的BiFeO3和空间群为Pbam(55)的Bi2Fe4O9两种物相结构。