利索能及
我要发布
收藏
专利号: 202110565645X
申请人: 上海理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-04-09
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种反射型太赫兹梳状滤波器,其特征在于,包括:半导体衬底及贴合于所述半导体衬底上的若干个金属薄层结构,所述金属薄层结构在半导体衬底上的分布方式为:N个表面区域,每个表面区域内包括m个金属薄层结构,区域内和区域间均呈周期性排布;

所述金属薄层结构为亚波长级的金属结构单元;

所述金属结构单元有大小、形状和角度等特征,十字形金属结构单元是施例的一种;

所述表面区域中的每个金属结构单元特征不同。

2.如权利要求1所述的一种反射型太赫兹梳状滤波器,其特征在于,相邻两个所述金属结构单元之间的距离为间隔值s,所述间隔值s小于输入的太赫兹波波长。

3.如权利要求1所述的一种反射型太赫兹梳状滤波器,其特征在于,所述金属薄层结构的材质为铝或者金材料。

4.如权利要求1所述的一种反射型太赫兹梳状滤波器,其特征在于,所述滤波器表面区域数、金属薄层结构的个数和任一特征可根据实际的滤波需求进行调节。