1.一种基于ANSYS软件的传感器电容误差评估方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、根据传感器电容结构参数和工作环境,在ANSYS软件上建立传感器仿真模型,并确定边界约束条件;
S2、对传感器仿真模型进行网格划分;
S3、施加压力载荷,进行静态结构力学仿真,得到中心挠度仿真值W,并通过挠度理论计算中心挠度理论值W0;
S4、比较中心挠度理论值W0和仿真值W,判断中心挠度误差是否满足要求,若是,则进入步骤S5,否则回到步骤S2重新进行网格划分;
S5、提取传感器发生形变后网格点坐标值,采取微元电容离散法来计算电容仿真值C,并通过挠度理论计算电容理论值C0;
S6、比较电容理论值C0和仿真值C,判断电容误差是否满足要求,若是,则误差评估结束,得到满足误差要求的电容值,否则,进入步骤S7;
S7、通过挠度理论计算中心挠度为W时的传感器电容C1,比较微元电容离散法计算的电容仿真值C和挠度理论计算出的电容仿真值C1,判断仿真电容误差能否满足要求,若是,则回到步骤S2重新进行网格划分,否则,进入步骤S5,采用MATLAB中meshgrid和griddata函数将电容器离散成更多的元电容,继续计算电容仿真值C。
2.根据权利要求1所述的一种基于ANSYS软件的传感器电容误差评估方法,其特征在于,步骤S5中所述微元电容离散法为映射法和加密法,使用加密法计算传感器空腔的电容,使用映射法求解传感器环带电容。