利索能及
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专利号: 2021104102998
申请人: 江苏理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种蘑菇型结构神经突触仿生器件,是采用0.13 μm CMOS工艺制备而得的蘑菇型结构,其特征在于,该器件结构自下至上依次包括Si(100)基片制备的衬底、Al材料底电极、SiO2中间介质层、在中间介质层上形成的W加热电极、Ti‑Zn‑Sb存储介质层、TiN粘附层和Al材料顶电极;

Ti‑Zn‑Sb存储介质层材料由Ti、Zn、Sb三种元素组成,其化学组成符合化学式 Ti0.14(Zn15Sb85)0.86;

以Ti0.14(Zn15Sb85)0.86相变材料作为神经突触仿生器件中的存储介质,可以在5~500 ns电信号脉冲宽度作用下实现多态阻值之间的转换,其中间态电阻值能够提供8 bit的分辨率,开关电阻差异可达2个数量级;

W加热电极为圆柱体结构,其直径为150‑250 nm、高为300‑600 nm;TiN粘附层厚度为

15‑25 nm;Ti‑Zn‑Sb存储介质层厚度为30 100 nm,Ti‑Zn‑Sb存储介质层的直径大于W加热~电极的直径。

2. 如权利要求1所述的一种蘑菇型结构神经突触仿生器件,其特征在于,该神经突触仿生器件的单元尺寸为长50 μm、宽50 μm、高1 μm。