利索能及
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专利号: 2021101543081
申请人: 中山大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种湿度传感单元,其特征在于,其包括纳米光栅以及层叠于所述纳米光栅表面的吸湿材料层;

所述纳米光栅为具有表面等离子激元效应的金属纳米光栅。

2.根据权利要求1所述的湿度传感单元,其特征在于,所述纳米光栅为周期性纳米阵列,选自一维纳米槽阵列和二维纳米孔洞阵列中的至少一种。

3.根据权利要求2所述的湿度传感单元,其特征在于,所述纳米光栅的周期为300nm~

2000nm。

4.根据权利要求2所述的湿度传感单元,其特征在于,所述纳米光栅的凹槽深度或孔洞深度为50nm~1000nm。

5.根据权利要求2所述的湿度传感单元,其特征在于,所述纳米光栅的凹槽宽度或孔洞直径为150nm~450nm。

6.根据权利要求1所述的湿度传感单元,其特征在于,所述纳米光栅的材料选自金、银、铝和钯中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的湿度传感单元,其特征在于,所述纳米光栅表面吸湿材料层的厚度为300nm~1000nm。

8.根据权利要求1~7任一项所述的湿度传感单元,其特征在于,所述吸湿材料层的材料选自聚乙烯醇、壳聚糖、丝蛋白和聚丙烯酸中的至少一种。

9.一种湿度传感器,其特征在于,包括衬底、层叠于所述衬底之上的环氧树脂层,以及层叠于所述环氧树脂层之上的权利要求1~8任一项所述的湿度传感单元。

10.权利要求1~8任一项所述的湿度传感单元或权利要求9所述的湿度传感器在湿度检测中的应用。