1.一种具有三自由度隔振功能的磁悬浮作动器,其特征在于,包括:定子基座,定子基座的一端敞口设置,定子基座内侧设置内支撑件,定子基座内支撑件环向设置外壁,内支撑件和外壁之间设置第一空间;
悬浮体,悬浮体包括多组充磁永磁体,多组充磁永磁体依次连接,且多组充磁永磁体设于定子基座第一空间内,每一组充磁永磁体均包括沿着定子基座轴向设置的轴向充磁永磁体和沿着定子基座径向设置的多个径向充磁永磁体,径向充磁永磁体与轴向充磁永磁体连接,且相邻两径向充磁永磁体之间设置纯铁,最后一组充磁永磁体的一侧设置轴向充磁永磁体;
其中,每一组充磁永磁体的环向内侧、外侧均通过定子基座设置竖直方向驱动线圈,每一组充磁永磁体环向内侧通过定子基座内支撑件设置水平方向驱动线圈;
所述竖直方向驱动线圈位于径向充磁永磁体的环向,竖直方向驱动线圈的设置高度与径向充磁永磁体的宽度是相同的;
所述水平方向驱动线圈位于轴向充磁永磁体的内侧,水平驱动线圈的设置高度与轴向充磁永磁体的宽度是相同的。
2.根据权利要求1所述的一种具有三自由度隔振功能的磁悬浮作动器,其特征在于,所述定子基座外壁设置卡槽用于安装部分所述的竖直方向驱动线圈。
3.根据权利要求1所述的一种具有三自由度隔振功能的磁悬浮作动器,其特征在于,所述悬浮体包括三组充磁永磁体,第一组充磁永磁体同浮子平台连接,最后一组充磁永磁体在径向充磁永磁体的侧部固连轴向充磁永磁体。
4.根据权利要求3所述的一种具有三自由度隔振功能的磁悬浮作动器,其特征在于,所述竖直方向驱动线圈与水平方向驱动线圈交错设置,从定子基座的一端至另一端,共设置4组水平方向驱动线圈和3组竖直水平方向驱动线圈;
水平方向驱动线圈和竖直水平方向驱动线圈依次交替设置。
5.根据权利要求1所述的一种具有三自由度隔振功能的磁悬浮作动器,其特征在于,所述竖直方向驱动线圈为环形,所述水平方向驱动线圈包括两组半环形线圈。
6.根据权利要求1所述的一种具有三自由度隔振功能的磁悬浮作动器,其特征在于,从定子基座的一端至另一端,位于中部的水平方向驱动线圈中两半环形线圈设置方向与外侧水平方向驱动线圈设置方向垂直。
7.根据权利要求1所述的一种具有三自由度隔振功能的磁悬浮作动器,其特征在于,相邻两轴向充磁永磁体的充磁方向相反,充磁强度相同。
8.根据权利要求1所述的一种具有三自由度隔振功能的磁悬浮作动器,其特征在于,每一组所述充磁永磁体中相邻两径向充磁永磁体的充磁方向相反,充磁强度相同。