1.一种高效散热的平面靶,包括平面靶主体(1),其特征在于:所述平面靶主体(1)的一侧安装有散热连接板(2),所述散热连接板(2)的一侧安装有支撑板(3),所述支撑板(3)的一侧安装有冷却水箱(4),所述平面靶主体(1)的内表面设置有平面靶限位块(7),所述平面靶限位块(7)设置有四个,四个所述平面靶限位块(7)的一侧均设置有平面靶凹槽(9),所述散热连接板(2)的内侧设置有连接板限位块(8),所述连接板限位块(8)设置有四个,四个所述连接板限位块(8)的一侧均设置有连接板凹槽(18),所述连接板凹槽(18)的内部安装有冷却水管(15),所述冷却水管(15)的两端均延伸至连接板限位块(8)内部与连接板限位块(8)密封连接,且所述连接板限位块(8)的内部设置有储水腔(21),所述储水腔(21)的内部设置有电磁阀(19)。
2.根据权利要求1所述的一种高效散热的平面靶,其特征在于:所述平面靶主体(1)与平面靶限位块(7)和平面靶凹槽(9)设置为一体成型结构,所述平面靶凹槽(9)的形状与连接板限位块(8)的形状相同,所述平面靶限位块(7)的形状与连接板凹槽(18)的形状相同。
3.根据权利要求1所述的一种高效散热的平面靶,其特征在于:所述连接板限位块(8)和连接板凹槽(18)均与散热连接板(2)设置为一体成型结构,所述平面靶限位块(7)和连接板凹槽(18)的内部均设置有螺纹孔(13),所述平面靶主体(1)嵌入散热连接板(2)内壁与散热连接板(2)通过固定螺丝连接。
4.根据权利要求1所述的一种高效散热的平面靶,其特征在于:所述散热连接板(2)的内部中间设置有连接板筒体(17),所述连接板筒体(17)与散热连接板(2)设置为一体结构,所述平面靶主体(1)的内部中间设置有平面靶连接柱(10),所述平面靶连接柱(10)与平面靶主体(1)设置为一体结构,所述平面靶连接柱(10)嵌入连接板筒体(17)内部与散热连接板(2)卡合,所述连接板筒体(17)的内部安装有螺母(16),所述平面靶连接柱(10)的内部中间安装有紧固螺栓(14),所述紧固螺栓(14)穿过平面靶连接柱(10)与螺母(16)螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种高效散热的平面靶,其特征在于:所述支撑板(3)与散热连接板(2)通过固定螺丝连接,所述冷却水箱(4)穿过支撑板(3)延伸至散热连接板(2)内部与散热连接板(2)密封连接,所述冷却水箱(4)的外部设置有循环泵(5),所述循环泵(5)的外部安装有导水管(6),所述导水管(6)的两端分别与电磁阀(19)和循环泵(5)密封连接。
6.根据权利要求1所述的一种高效散热的平面靶,其特征在于:所述平面靶限位块(7)的内部设置有限位隔条(11),所述限位隔条(11)的内部设置有管道槽(12),所述冷却水管(15)的两端均设置有连接口(20),所述冷却水管(15)通过连接口(20)与储水腔(21)密封连接,且所述冷却水管(15)嵌入管道槽(12)内部与限位隔条(11)卡合。