1.一种掩模板条码扫描装置，其特征在于，包括承载台、支架、驱动组件、读码机和保护管道，所述承载台具有用于承载掩模板的承载面，所述支架固定设置在所述承载台的一侧，所述驱动组件设置在所述支架上，并延伸至所述承载台上方，所述读码机与所述驱动组件连接，并与所述承载面相对设置，用于在所述驱动组件的带动下相对所述承载面运动，所述保护管道设置在所述承载台的一侧，用于向所述读码机和所述承载面之间输送保护气体，以防止灰尘落在所述掩模板上。

2.根据权利要求1所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述驱动组件包括传动支杆、第一驱动件和第二驱动件，所述支架上设置有第一滑轨，所述传动支杆的一端滑动设置在所述第一滑轨上，另一端延伸至所述承载台上方，所述第一驱动件与所述传动支杆连接并与所述支架传动连接，用于驱动所述传动支杆沿所述第一滑轨运动，所述传动支杆上设置有第二滑轨，所述读码机滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二驱动件与所述读码机连接，并与所述传动支杆传动连接，用于驱动所述读码机沿所述第二滑轨运动。

3.根据权利要求2所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述第一滑轨和所述第二滑轨相互垂直。

4.根据权利要求2所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述第一驱动件和所述第二驱动件均为步进电机。

5.根据权利要求4所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述支架上还设置有与所述第一滑轨相平行的第一传动齿条，所述第一驱动件的输出轴上设置有第一传动齿轮，所述第一传动齿轮与所述第一传动齿条相啮合；所述传动支杆上还设置有与所述第二滑轨相平行的第二传动齿条，所述第二驱动件的输出轴上设置有第二传动齿轮，所述第二传动齿轮与所述第二传动齿条相啮合。

6.根据权利要求2所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述支架包括支撑架和承载架，所述支撑架设置在所述承载台的一侧，所述承载架设置在所述支撑架的顶部，所述第一滑轨设置在所述承载架上。

7.根据权利要求6所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述支撑架与所述承载架的中部连接，且所述支撑架和所述承载架共同形成T字形结构。

8.根据权利要求2所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述传动支杆的一端设置有止挡滑动块，所述止挡滑动块滑动容置在所述第一滑轨中，所述第一滑轨上还设置有止挡条，所述止挡条抵持在所述止挡滑动块上，以防止所述止挡滑动块脱离所述第一滑轨。

9.根据权利要求1所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述保护管道的出气口与所述支架相对设置在所述承载台的两侧，且所述保护管道用于与外部的压缩气体管道连接。

10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1‑9任一项所述的掩模板条码扫描装置。