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专利号: 2020231268493
申请人: 苏州普汇达电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.改进的蚀刻机,其特征在于:包括机体(1)和净化设备,所述净化设备包括反应桶(2)和传动箱(3),所述传动箱(3)内部设有化工泵(8),所述化工泵(8)通过液管分别与机体(1)和反应桶(2)连通,所述反应桶(2)顶端设有反应液注入口(5),所述反应桶(2)两侧分别设有机箱(4)、冷凝箱(6)和净化箱(7),所述冷凝箱(6)通过气管与反应桶(2)连通,所述反应桶(2)内部设有搅拌桨(10)和加热器(11),所述冷凝箱(6)和净化箱(7)通过液管连通,所述净化箱(7)内部设有滤芯(13)和紫外线消毒灯(15)。

2.根据权利要求1所述的改进的蚀刻机,其特征在于:所述机箱(4)内部设有电机(9),所述电机(9)通过联轴器与搅拌桨(10)连接,所述搅拌桨(10)上设有漏孔,所述漏孔按纵向分布。

3.根据权利要求1所述的改进的蚀刻机,其特征在于:所述反应液注入口(5)、反应桶(2)与冷凝箱(6)连接的气管以及冷凝箱(6)和净化箱(7)之间的液管上均设有控制阀门,所述控制阀门为电子阀门,所述电子阀门的型号为2W‑320‑32‑1.2。

4.根据权利要求1所述的改进的蚀刻机,其特征在于:所述滤芯(13)内部设有活性炭网(14),所述滤芯(13)嵌套于活性炭网(14)上,所述活性炭网(14)通过螺丝与净化箱(7)的内壁固定。

5.根据权利要求1所述的改进的蚀刻机,其特征在于:所述搅拌桨(10)、加热器(11)和反应桶(2)的内壁上均设有防腐蚀涂料。