1.一种位移定位侦测装置,其特征在于,所述装置包括:硅片承载器,用于承载硅片;
牵引器,与所述硅片承载器连接,并用于牵引所述硅片承载器沿预设定轨迹移动;
位移传感器,与所述硅片承载器连接,并在所述牵引器从第一起始位置移动至第一终点位置时,检测所述硅片承载器是否从第二起始位置移动至第二终点位置。
2.如权利要求1所述的位移定位侦测装置,其特征在于,所述位移传感器包括第一磁性元件、第一感应元件以及第二感应元件,所述第一磁性元件安装于所述硅片承载器的目标端,所述第一感应元件安装于靠近所述目标端的第二起始位置,所述第二感应元件安装于靠近所述目标端的第二终点位置;
当所述第一磁性元件位于所述第二起始位置时,所述第一感应元件动作;当所述第一磁性元件位于所述第二终点位置时,所述第二感应元件动作。
3.如权利要求2所述的位移定位侦测装置,其特征在于,所述硅片承载器的目标端设置有安装部与夹持部,所述第一磁性元件置于所述安装部内,且所述夹持部与所述第一磁性元件抵持,以固定所述第一磁性元件。
4.如权利要求2所述的位移定位侦测装置,其特征在于,所述第一感应元件与所述第二感应元件均为常开继电器,当所述第一磁性元件位于所述第二起始位置时,所述第一感应元件闭合,当所述第一磁性元件位于所述第二终点位置时,所述第二感应元件闭合。
5.如权利要求2所述的位移定位侦测装置,其特征在于,所述第一感应元件与所述第二感应元件均为常闭继电器,当所述第一磁性元件位于所述第二起始位置时,所述第一感应元件断开,当所述第一磁性元件位于所述第二终点位置时,所述第二感应元件断开。
6.如权利要求1所述的位移定位侦测装置,其特征在于,所述硅片承载器包括本体与第二磁性元件,所述第二磁性元件安装于所述本体的一端,且所述本体用于承载硅片;
所述牵引器包括运动部与牵引部,所述运动部与所述牵引部连接,且所述牵引部上设置有第三磁性元件,所述第三磁性元件与第二磁性元件通过磁力连接,且所述牵引器用于当所述运动部移动时,利用所述第二磁性元件与所述第三磁性元件之间的磁力,牵引所述硅片承载器移动。
7.如权利要求1所述的位移定位侦测装置,其特征在于,所述牵引器还包括第三感应元件与第四感应元件,所述位移定位侦测装置还包括第四磁性元件,当所述牵引器处于第一初始位置时,所述第三感应元件靠近所述第四磁性元件,以使所述第三感应元件动作;当所述牵引器处于第一终点位置时,所述第四感应元件靠近所述第四磁性元件,以使所述第四感应元件动作。
8.如权利要求1所述的位移定位侦测装置,其特征在于,所述牵引器、所述位移传感器分别与所述硅片承载器的两端连接。
9.如权利要求1所述的位移定位侦测装置,其特征在于,所述位移定位侦测装置还包括壳体,所述硅片承载器置于所述壳体内,所述牵引器与所述位移传感器均设置于所述壳体外,且所述牵引器用于牵引所述硅片承载器在所述壳体内移动。
10.一种位移定位侦测系统,其特征在于,所述位移定位侦测系统包括如权利要求1至9任意一项所述的位移定位侦测装置。