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专利号: 2020220507664
申请人: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-05-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种尖峰退火加热装置,其特征在于,包括:控温单元,以及与所述控温单元电连接的加热灯,所述控温单元用于控制所述加热灯的发热功率,所述控温单元与所述加热灯连接的电路上设置有电流传感器以及电压传感器,所述电流传感器用于检测所述加热灯的输入电流,所述电压传感器用于检测所述加热灯的输入电压。

2.如权利要求1所述的尖峰退火加热装置,其特征在于,所述尖峰退火加热装置还包括预警装置,所述预警装置分别与所述电流传感器和所述电压传感器通信连接,所述预警装置用于根据所述电压传感器和所述电流传感器的检测信号,确定所述加热灯的异常状态并发出预警信息。

3.如权利要求2所述的尖峰退火加热装置,其特征在于,所述预警装置包括相互通信连接的预警控制器和报警器,所述预警控制器分别与所述电流传感器和所述电压传感器通信连接。

4.如权利要求3所述的尖峰退火加热装置,其特征在于,所述报警器包括蜂鸣器。

5.如权利要求2所述的尖峰退火加热装置,其特征在于,所述预警装置包括相互电连接的预警控制器和通信芯片,所述通信芯片用于向终端设备发送所述预警信息。

6.如权利要求1所述的尖峰退火加热装置,其特征在于,所述加热灯包括蜂巢结构灯组。

7.如权利要求1所述的尖峰退火加热装置,其特征在于,所述电流传感器包括微电流计。

8.如权利要求1所述的尖峰退火加热装置,其特征在于,所述电压传感器包括微电压计。

9.如权利要求1所述的尖峰退火加热装置,其特征在于,所述控温单元包括相互连接的温度传感器和温度控制器,所述温度传感器用于检测所述加热灯的温度,所述温度控制器与所述加热灯的驱动器连接,用于根据所述温度传感器的检测信号通过所述温度控制器控制所述加热灯的发热功率。

10.一种尖峰退火机台,其特征在于,包括如权利要求1~9任一项所述的尖峰退火加热装置。