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专利号: 2020220454703
申请人: 山东沐东真空科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种真空镀膜机基片架传送装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定连接有液压气缸(2),所述液压气缸(2)的一端固定连接有顶板(3),所述顶板(3)的顶部固定连接有传动板(4),所述传动板(4)的一端固定连接有伺服电机(5),所述伺服电机(5)的输出端固定连接有丝杠(6),所述丝杠(6)的表面螺纹连接有移动块(7),所述移动块(7)的顶部固定连接有固定装置(8)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机基片架传送装置,其特征在于:所述固定装置(8)包括保护壳体(801)、放置板(802)、双轴电机(803)、螺杆(804)、移动板(805)和夹紧板(806),所述保护壳体(801)的顶部固定连接有放置板(802),所述保护壳体(801)的内部固定连接有双轴电机(803),所述双轴电机(803)的两输出端固定连接有螺杆(804),所述螺杆(804)的表面螺纹连接有移动板(805),所述移动板(805)顶部固定连接夹紧板(806)。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机基片架传送装置,其特征在于:所述放置板(802)的内部设置有伸缩支杆(9),所述伸缩支杆(9)的数量为两个,两个所述伸缩支杆(9)的一端分别和两个移动板(805)固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机基片架传送装置,其特征在于:所述夹紧板(806)的一侧固定连接有保护垫(10),所述保护垫(10)的材质为橡胶。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机基片架传送装置,其特征在于:所述传动板(4)的内底壁开设有滑槽(11),所述移动块(7)的底部固定连接有滑轨(12),所述滑轨(12)和滑槽(11)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机基片架传送装置,其特征在于:所述移动块(7)的两侧固定连接有螺纹筒(13),所述螺纹筒(13)内部设置的螺纹和丝杠(6)相适配。