利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2020220426718
申请人: 山东沐东真空科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-27
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种真空蒸发镀膜用余热利用装置,包括自吸泵(8)、铜管(10)、基座(13)、导热管(14)和出水管(16),其特征在于:所述基座(13)上表面一侧通过两个支撑架(1)固定连接有镀膜仓本体(2),所述镀膜仓本体(2)下方的基座(13)上表面固定连接有蒸发器本体(4),所述蒸发器本体(4)顶端固定连接在镀膜仓本体(2)下表面,所述蒸发器本体(4)内部嵌入安装有坩埚(3),所述坩埚(3)顶端嵌入安装在镀膜仓本体(2)下表面,所述蒸发器本体(4)两侧上方均开孔,所述导热管(14)两端分别嵌入安装在蒸发器本体(4)两侧上方的开孔内,所述导热管(14)呈螺旋状分布在基座(13)内部,所述基座(13)内部的导热管(14)缠绕在铜管(10)外壁,所述基座(13)另一侧通过底座(9)与自吸泵(8)底端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置,其特征在于:所述镀膜仓本体(2)前端一侧通过铰链(5)转动连接有镀膜仓盖本体(6),镀膜仓盖本体(6)后端通过插销(19)与镀膜仓本体(2)闭合。

3.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置,其特征在于:所述坩埚(3)外壁呈螺旋状缠绕有电阻加热线圈(12)。

4.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置,其特征在于:所述基座(13)上方的导热管(14)外壁包覆有隔热套(11)。

5.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置,其特征在于:所述自吸泵(8)与镀膜仓本体(2)相背离一侧下方通过法兰盘(15)连通安装有进水管(7),自吸泵(8)与镀膜仓本体(2)相对一侧下方通过法兰盘(15)与铜管(10)一端连通安装,铜管(10)另一端通过法兰盘(15)与出水管(16)一端连通安装,出水管(16)另一端连通安装有三通连接头(17)。

6.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置,其特征在于:所述蒸发器本体(4)前端开孔并通过机械螺丝固定连接有检修盖(18)。