1.一种封闭式研磨装置，其特征在于，包括：

底座（100），所述底座（100）内部包围形成密封腔（201），所述底座（100）设置有抽气口（110） ；以及研磨室（300），设置于所述密封腔（201），所述研磨室（300）的外壁与所述底座（100）的内壁间隔设置，所述研磨室（300）设置有研磨室气孔（310），所述研磨室（300）用于放置柔性研磨杯。

2.如权利要求1所述的封闭式研磨装置，其特征在于，还包括旋转闭锁壳（500），套设于所述研磨室（300）的外侧，所述旋转闭锁壳（500）设置有旋转闭锁壳气孔（510），当所述旋转闭锁壳（500）围绕所述研磨室（300）旋转到第一位置时，所述旋转闭锁壳气孔（510）与所述研磨室气孔（310）连通，当所述旋转闭锁壳（500）围绕所述研磨室（300）旋转到第二位置时，所述旋转闭锁壳（500）将所述研磨室气孔（310）密封。

3.如权利要求2所述的封闭式研磨装置，其特征在于，所述研磨室（300）设置有研磨室传感器安装孔（320），所述旋转闭锁壳（500）设置有旋转闭锁壳传感器安装孔（520），所述旋转闭锁壳（500）围绕所述研磨室（300）在所述第一位置和所述第二位置来回转动时，所述研磨室传感器安装孔（320）在所述旋转闭锁壳传感器安装孔（520）的投影落入所述旋转闭锁壳传感器安装孔（520）内。

4.如权利要求3所述的封闭式研磨装置，其特征在于，还包括第一压力传感器（600），设置于所述研磨室传感器安装孔（320）。

5.如权利要求2所述的封闭式研磨装置，其特征在于，还包括残渣室（501），围绕设置于所述旋转闭锁壳（500）远离所述研磨室（300）的一侧。

6.如权利要求1所述的封闭式研磨装置，其特征在于，所述研磨室（300）的开口高于所述底座（100）开口，所述研磨室（300）的开口设置有安装卡环（301），用于固定所述柔性研磨杯的开口。

7.如权利要求6所述的封闭式研磨装置，其特征在于，还包括研磨室密封台（420），用于压置于所述安装卡环（301），以固定所述柔性研磨杯的开口。

8.如权利要求1所述的封闭式研磨装置，其特征在于，所述底座（100）设置有气门（120）。

9.如权利要求1所述的封闭式研磨装置，其特征在于，所述底座（100）设置有封闭台阀门（210）。

10.如权利要求1所述的封闭式研磨装置，其特征在于，还包括：

研磨刀（400），设置于所述研磨室（300）；以及

第一电机（410），所述第一电机（410）的驱动轴与所述研磨刀（400）传动连接。