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专利号: 2020217334439
申请人: 苏州科技大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-08-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种平面碲化铋基薄膜热电模块,其特征在于,包括热沉基板(1)、二氧化硅膜层(2)、多条第一金属带(3)、多条第二金属带(4)、碲化铋基薄膜、光刻胶(8)和导热绝缘层(7),所述二氧化硅膜层(2)设置在所述热沉基板(1)的上表面,所述第一金属带(3)和所述第二金属带(4)交错地间隔排列在所述二氧化硅膜层(2)的上表面;相邻的第一金属带(3)和第二金属带(4)通过沉积在二氧化硅膜层(2)上的碲化铋基薄膜相连并导通,所述碲化铋基薄膜包括P型碲化铋基薄膜(5)和N型碲化铋基薄膜(6),所述第一金属带(3)和所述第二金属带(4)的两侧均分布有不同类型的碲化铋基薄膜,相邻的所述第一金属带(3)和所述第二金属带(4)之间分布有一个或多个相同类型的碲化铋基薄膜;

所述第二金属带(4)的表面由所述导热绝缘层(7)覆盖,除了被所述导热绝缘层(7)覆盖的表面均由所述光刻胶(8)覆盖,所述导热绝缘层(7)的高度大于所述光刻胶(8)的高度。

2.根据权利要求1所述的平面碲化铋基薄膜热电模块,其特征在于,相邻的所述第一金属带(3)和所述第二金属带(4)之间等间距排列,所述第一金属带(3)的宽度与所述第二金属带(4)宽度相同,所述P型碲化铋基薄膜(5)和所述N型碲化铋基薄膜(6)的长度均等于相邻的所述第一金属带(3)和所述第二金属带(4)之间的距离。

3.根据权利要求2所述的平面碲化铋基薄膜热电模块,其特征在于,所述第二金属带(4)的厚度不小于所述第一金属带(3)的厚度,所述第一金属带(3)的厚度范围为10-30μm,所述第一金属带(3)和所述第二金属带(4)长度范围均为15-30mm,宽度范围均为0.8-1.2μm。

4.根据权利要求2所述的平面碲化铋基薄膜热电模块,其特征在于,所述第一金属带(3)与所述第二金属带(4)的制成材料相同或不同,所述第一金属带(3)和所述第二金属带(4)由铝、金或银制成。

5.根据权利要求3所述的平面碲化铋基薄膜热电模块,其特征在于,所述P型碲化铋基薄膜(5)和所述N型碲化铋基薄膜(6)交错间隔地按行排列在所述二氧化硅膜层(2)的上表面;

相邻的所述第一金属带(3)和所述第二金属带(4)之间的多个相同类型的碲化铋基薄膜的纵向上的间距等于相同类型碲化铋基薄膜的宽度。

6.根据权利要求1所述的平面碲化铋基薄膜热电模块,其特征在于,所述P型碲化铋基薄膜(5)和所述N型碲化铋基薄膜(6)的厚度范围均为30-80nm,长度范围均为0.8-1.2μm,宽度范围均为0.6-0.8μm。

7.根据权利要求1所述的平面碲化铋基薄膜热电模块,其特征在于,所述热沉基板(1)的上下表面均设有陶瓷氧化层。

8.根据权利要求1所述的平面碲化铋基薄膜热电模块,其特征在于,所述导热绝缘层(7)由氮化铝制成。

9.根据权利要求1所述的平面碲化铋基薄膜热电模块,其特征在于,所述二氧化硅膜层(2)的厚度范围为80-120μm。

10.一种热电发电机,其特征在于,包括如权利要求1-9所述的平面碲化铋基薄膜热电模块。