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专利号: 2020215263960
申请人: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-07-12
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种静电吸盘移除工具,其特征在于,包括固定安装架、设置在所述固定安装架上的提升杆以及与所述提升杆连接的吸盘固定架,所述提升杆的延伸方向与所述吸盘固定架的重心相重合,所述固定安装架上开设有导向孔,所述提升杆装配在所述导向孔中,所述吸盘固定架用于对称连接在静电吸盘上。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘移除工具,其特征在于,所述提升杆为螺杆,所述导向孔为螺孔,所述螺杆装配在所述螺孔中,且所述螺杆可转动地与所述吸盘固定架连接。

3.根据权利要求2所述的静电吸盘移除工具,其特征在于,所述吸盘固定架上开设有承接口,所述承接口中设置有承接轴承,所述承接轴承的外圈与所述承接口的内壁固定,所述承接轴承的内圈与所述螺杆的底端装配,所述螺杆通过所述承接轴承与所述吸盘固定架转动连接。

4.根据权利要求1或2所述的静电吸盘移除工具,其特征在于,所述吸盘固定架包括承载杆和对称设置在所述承载杆两端的吸盘连接杆,所述吸盘连接杆用于可拆卸地连接所述静电吸盘,所述提升杆与所述承载杆的中部连接。

5.根据权利要求4所述的静电吸盘移除工具,其特征在于,所述吸盘连接杆上设置有连接螺钉,所述连接螺钉用于装配在所述静电吸盘上。

6.根据权利要求4所述的静电吸盘移除工具,其特征在于,所述吸盘连接杆上用于与所述静电吸盘相接触的表面镀有防锈层。

7.根据权利要求4所述的静电吸盘移除工具,其特征在于,所述提升杆的延伸方向与所述承载杆的延伸方向相垂直,所述吸盘连接杆的延伸方向与所述提升杆的延伸方向相平行,以使所述吸盘连接杆和所述承载杆之间形成直角结构。

8.根据权利要求1或2所述的静电吸盘移除工具,其特征在于,所述提升杆的顶端设置有把手帽,所述把手帽的直径大于所述导向孔的直径。

9.根据权利要求1或2所述的静电吸盘移除工具,其特征在于,所述固定安装架包括支撑架体和多个固定支杆,多个所述固定支杆设置在所述吸盘固定架的四周,且多个所述固定支杆的顶端位于同一水平面上,所述支撑架体与多个所述固定支杆的顶端连接,所述导向孔开设在所述支撑架体上。

10.根据权利要求9所述的静电吸盘移除工具,其特征在于,所述支撑架体为三角支架,且所述固定支杆的数量为三个,三个所述固定支杆呈等边三角形设置,所述支撑架体分别与三个所述固定支杆的顶端连接。