1.一种狭缝节流气浮转台,包括转轴(9)、设置于转轴(9)端面上的工作台(1)、驱动转轴(9)转动的驱动部件以及设置于转轴(9)上并支撑转轴(9)转动的气浮轴承,其特征在于,所述的转轴(9)包括转轴主体、位于转轴主体上的上法兰(91)与下法兰(92),所述的工作台(1)设置在上法兰(91)上,所述的驱动部件设置在下法兰(92)上,所述的气浮轴承包括从上至下套设在转轴主体上的下止推凸台(6)、径向节流套(10)以及径向端环(11),在所述的径向节流套(10)与径向端环(11)外侧套设气室外套(7),所述的气室外套(7)的内壁与径向端环(11)之间形成密封,所述的气室外套(7)与径向节流套(10)之间形成气室;在所述的下止推凸台(6)的上端面外侧设置下定位台阶(61),在所述的下定位台阶(61)上设置下止推圆环(5);在所述的工作台(1)与上法兰(91)之间设置上止推凸台(2),在所述的上止推凸台(2)的下端面外侧设置上定位台阶(21),在所述的上定位台阶(21)上设置上止推圆环(3),在所述的上止推圆环(3)与下止推圆环(5)之间设置定距环(4);在所述的上止推凸台(2)、上止推圆环(3)、定距环(4)、下止推圆环(5)、下止推凸台(6)以及气室外套(7)上设置气体通道(19),在所述的气室外套(7)上设置进气孔(71)与气体通道(19)连通;在所述的径向节流套(10)的上端面与下端面上形成狭缝,在所述的上止推圆环(3)的内环面与上止推凸台(2)的上定位台阶(21)处形成狭缝,在所述的下止推圆环(5)的内环面与下止推凸台(6)的下定位台阶(61)处形成狭缝,气体从狭缝进入转轴(9)的外表面并在转轴(9)的外表面形成气膜。
2.根据权利要求1所述的狭缝节流气浮转台,其特征在于,所述的气室外套(7)的内壁上部为倾斜面,所述的气室设置在倾斜面与径向节流套(10)之间,所述的进气孔(71)穿透气室外套(7)并连通气室。
3.根据权利要求1所述的狭缝节流气浮转台,其特征在于,所述的径向节流套(10)包括节流套本体(101)、从节流套本体(101)两端面伸出的若干固定凸台(102)、从节流套本体(101)两端面伸出的节流凸台(103),所述的节流凸台(103)呈环状,所述的节流凸台(103)位于固定凸台(102)内侧,在所述的节流凸台(103)与固定凸台(102)之间为气流通道(104),相邻所述的固定凸台(102)之间为通气槽(105),所述的通气槽(105)将气室与气流通道(104)连通,所述的节流凸台(103)的高度小于固定凸台(102)的高度。
4.根据权利要求1所述的狭缝节流气浮转台,其特征在于,所述的下止推凸台(6)的上端面设置第一通气环槽(62),所述的下止推凸台(6)的下端面均设置第二通气环槽,所述的第一通气环槽(62)、第二通气环槽均与下止推凸台(6)内部的气体通道(19)连通,所述的第二通气环槽连接气室,所述的第一通气环槽(62)与下定位台阶(61)处的狭缝连通。
5.根据权利要求4所述的狭缝节流气浮转台,其特征在于,在所述的第一通气环槽(62)及第二通气环槽的外侧均开设第二密封环槽(63),并在所述的第二密封环槽(63)内设置密封圈。
6.根据权利要求1所述的狭缝节流气浮转台,其特征在于,所述的上止推凸台(2)的下端面设置第三通气环槽(22),所述的第三通气环槽(22)与上止推凸台(2)内部的气体通道(19)连通,所述的第三通气环槽(22)与上定位台阶(21)处的狭缝连通。
7.根据权利要求6所述的狭缝节流气浮转台,其特征在于,在所述的第三通气环槽(22)的外侧开设第一密封环槽(23),并在所述的第一密封环槽(23)内设置密封圈。
8.根据权利要求1所述的狭缝节流气浮转台,其特征在于,所述的驱动部件包括用于固定的底座(8)、设置于底座(8)内部并与下法兰(92)连接的连接轴(12)、设置于连接轴(12)上的电机转子(14)、设置于底座(8)上的电机定子(15)、固定于连接轴(12)端部的圆光栅(16)以及设置于底座(8)上的读数头(17),所述的读数头(17)与圆光栅(16)配合;所述的圆光栅(16)跟随连接轴(12)转动。
9.根据权利要求8所述的狭缝节流气浮转台,其特征在于,在所述的电机定子(15)与底座(8)之间设置水冷套(13),在所述的水冷套(13)内通入冷却水,所述的水冷套(13)与底座(8)之间采用搅拌摩擦焊一体式封装。
10.根据权利要求9所述的狭缝节流气浮转台,其特征在于,在所述的水冷套(13)上开设冷却水槽(131),在所述的底座(8)上设置冷却水进口(81)及冷却水出口(82),所述的冷却水进口(81)与冷却水出口(82)连通至冷却水槽(131),所述的水冷套(13)与底座(8)配合使得冷却水槽(131)与底座(8)内环面形成冷却水通道。