1.一种抗反射电磁屏蔽结构,其特征是:包括衬底(1)以及设置于所述衬底(1)上的纳米森林结构(2),在所述纳米森林结构(2)上设置金属薄膜(3),且纳米森林结构(2)上所有的金属薄膜(3)相互连接呈一体。
2.根据权利要求1所述的抗反射电磁屏蔽结构,其特征是:所述衬底(1)包括金属衬底、半导体材料衬底、聚合物衬底或绝缘体衬底。
3.根据权利要求1所述的抗反射电磁屏蔽结构,其特征是:所述纳米森林结构(2)通过对衬底(1)上的聚合物层(5)采用等离子体轰击制备得到,所述纳米森林结构(2)内纳米纤维体的高度为1μm~50μm,所述纳米纤维体的直径为10nm~300nm。
4.根据权利要求1所述的抗反射电磁屏蔽结构,其特征是:聚合物层(5)通过喷涂或旋涂在衬底(1)上;对聚合物层(5)进行等离子体轰击时,采用氧等离子体轰击、氩等离子体轰击、氧等离子体轰击与氧等离子体交替轰击、或氧等离子体与氩等离子体共同轰击。
5.根据权利要求1所述的抗反射电磁屏蔽结构,其特征是:所述金属薄膜(3)设置在纳米森林结构(2)上的工艺包括溅射、蒸发或电镀。
6.根据权利要求1所述的抗反射电磁屏蔽结构,其特征是:所述衬底(1)包括柔性薄膜。
7.一种抗反射电磁屏蔽结构的制备方法,其特征是,所述制备方法包括如下步骤:步骤1、提供衬底(1),并在所述衬底(1)上制备聚合物层(5);
步骤2、在上述衬底(1)上利用聚合物层(5)制备得到纳米森林结构(2);
步骤3、在上述纳米森林结构(2)上制备金属薄膜(3),且纳米森林结构(2)上所有的金属薄膜(3)相互连接呈一体。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征是:所述聚合物层(5)通过喷涂或旋涂在衬底(1)上,所述纳米森林结构(2)通过对衬底(1)上的聚合物层(5)采用等离子体轰击制备得到,所述纳米森林结构(2)内纳米纤维体的高度为1μm~50μm,所述纳米纤维体的直径为
10nm~300nm;所述金属薄膜(3)的厚度为100nm‑1μm。
9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征是:对聚合物层(5)进行等离子体轰击时,采用氧等离子体轰击、氩等离子体轰击、氧等离子体轰击与氧等离子体交替轰击、或氧等离子体与氩等离子体共同轰击;
所述金属薄膜(3)设置在纳米森林结构(2)上的工艺包括溅射、蒸发或电镀。
10.根据权利要求7所述的制备方法,其特征是:所述衬底(1)包括金属衬底、半导体材料衬底、聚合物衬底或绝缘体衬底。