1.一种可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)在金刚石衬底上生长AlN层;
(2)在所述AlN层上生长n型AlGaN层;
(3)在所述n型AlGaN层上依次生长AlGaN阱层、AlGaN/AlN过度层和C基金刚石层、AlN量子垒层,重复生长若干组AlGaN阱层、AlGaN/AlN过度层和C基金刚石层、AlN量子垒层形成多量子阱层;
(4)在所述多量子阱层上生长P型AlGaN层。
2.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述AlGaN阱层的生长温度为1000‑1300℃。
3.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述AlGaN/AlN过度层的厚度为100‑300nm。
4.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述C基金刚石层的生长具体为:在1300‑1500℃,通入C源,采用高温CVD反应生产金刚石致密层薄膜,所述C源为CH4/H2气体。
5.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述C基金刚石层的生长温度比AlGaN阱层生长温度高100‑500℃。
6.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述C基金刚石层中掺杂一定组分的Si元素,调制金刚石层的导电特性。
7.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述C基金刚石层呈偏振光栅阵列。
8.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述AlN层呈纳米柱阵列结构。