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专利号: 2020113890276
申请人: 木昇半导体科技(苏州)有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-03-25
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)在金刚石衬底上生长AlN层;

(2)在所述AlN层上生长n型AlGaN层;

(3)在所述n型AlGaN层上依次生长AlGaN阱层、AlGaN/AlN过度层和C基金刚石层、AlN量子垒层,重复生长若干组AlGaN阱层、AlGaN/AlN过度层和C基金刚石层、AlN量子垒层形成多量子阱层;

(4)在所述多量子阱层上生长P型AlGaN层。

2.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述AlGaN阱层的生长温度为1000‑1300℃。

3.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述AlGaN/AlN过度层的厚度为100‑300nm。

4.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述C基金刚石层的生长具体为:在1300‑1500℃,通入C源,采用高温CVD反应生产金刚石致密层薄膜,所述C源为CH4/H2气体。

5.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述C基金刚石层的生长温度比AlGaN阱层生长温度高100‑500℃。

6.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述C基金刚石层中掺杂一定组分的Si元素,调制金刚石层的导电特性。

7.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述C基金刚石层呈偏振光栅阵列。

8.根据权利要求1所述的可调制光栅阵列结构的外延材料生长方法,其特征在于,所述AlN层呈纳米柱阵列结构。