利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2020112480819
申请人: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-29
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种机台污染监测装置,其特征在于,包括多个监测模组和分别与所述监测模组电连接的控制器,多个所述监测模组分别被配置于加工设备的多个操作机台内,用于采集每个所述操作机台内的污染物信息,所述控制器用于接收每个所述监测模组采集的所述污染物信息,并根据每个所述操作机台的所述污染物信息判定每个所述操作机台是否处于污染状态;所述机台污染监测装置还包括传送单元,所述传送单元与所述监测模组连接,用于驱动所述监测模组在所述操作机台内运动;所述传送单元为机械手,所述机械手和所述控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的机台污染监测装置,其特征在于,所述监测模组为拍摄单元。

3.根据权利要求1所述的机台污染监测装置,其特征在于,所述机台污染监测装置还包括暂存器,所述暂存器分别与所述监测模组和所述控制器电连接,用于接收所述监测模组检测到的所述污染物信息,并供所述控制器提取所述污染物信息。

4.根据权利要求1所述的机台污染监测装置,其特征在于,所述机台污染监测装置还包括报警器,所述报警器与所述控制器电连接,所述报警器用于当所述污染物信息超出阈值时响应所述控制器的控制信号发出警报。

5.根据权利要求1所述的机台污染监测装置,其特征在于,所述机台污染监测装置还包括与所述控制器电连接的显示器,所述显示器用于显示所述机台内的污染物信息。

6.一种加工设备,其特征在于,包括多个操作机台和如权利要求1至5中任意一项所述的机台污染监测装置,所述机台污染监测装置的多个监测模组一一对应设于多个所述操作机台内。

7.根据权利要求6所述的加工设备,其特征在于,所述操作机台内设有充电装置,所述监测模组与所述充电装置电连接。

8.根据权利要求7所述的加工设备,其特征在于,所述监测模组与所述充电装置采用无线通讯连接。