利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2020111722115
申请人: 杭州海康威视数字技术股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种曝光设备,其特征在于,所述曝光设备包括:激光器(1)、偏振分束镜(2)、液晶空间光调制器(3)、第一反射组件(4)、第二反射组件(5)和耦合组件(6);

所述偏振分束镜(2)位于所述激光器(1)的出光侧,所述激光器(1)用于出射光束,所述偏振分束镜(2)用于将所述光束分为P偏振光和S偏振光,并透射所述P偏振光且反射所述S偏振光;

所述偏振分束镜(2)的第一出光侧(21)和第二出光侧(22)中的至少一侧具有所述液晶空间光调制器(3),所述第一反射组件(4)用于反射所述偏振分束镜(2)的第一出光侧(21)的光束,所述第二反射组件(5)用于反射所述偏振分束镜(2)的第二出光侧(22)的光束,所述耦合组件(6)位于所述第一反射组件(4)的出光侧和所述第二反射组件(5)的出光侧的交叠区域;

其中,所述液晶空间光调制器(3)用于对入射的光束的相位和振幅进行调制,以使所述液晶空间光调制器(3)出射的光束为能量分布渐变的光束,所述耦合组件(6)用于承载涂覆有光致聚合物材料的全息衍射基板(7),且所述第一反射组件(4)和所述第二反射组件(5)出射的光束在涂敷有所述光致聚合物材料的全息衍射基板(7)上能够形成衍射效率渐变的全息衍射光栅,所述偏振分束镜(2)的第一出光侧(21)为所述偏振分束镜(2)反射的S偏振光的出光侧,所述偏振分束镜(2)的第二出光侧(22)为所述偏振分束镜(2)透射的P偏振光的出光侧。

2.如权利要求1所述的曝光设备,其特征在于,所述偏振分束镜(2)位于所述液晶空间光调制器(3)与所述第一反射组件(4)之间,所述偏振分束镜(2)的第一出光侧(21)背向所述第一反射组件(4),所述液晶空间光调制器(3)为反射式结构的空间光调制器,且用于对所述偏振分束镜(2)反射的S偏振光的相位和振幅进行调制后得到P偏振光。

3.如权利要求1所述的曝光设备,其特征在于,所述液晶空间光调制器(3)位于所述偏振分束镜(2)与所述第一反射组件(4)之间,所述偏振分束镜(2)的第一出光侧(21)朝向所述第一反射组件(4),所述液晶空间光调制器(3)为透射式结构的空间光调制器,且用于对所述偏振分束镜(2)反射的S偏振光的相位和振幅进行调制后得到P偏振光。

4.如权利要求2或3所述的曝光设备,其特征在于,所述偏振分束镜(2)与所述第二反射组件(5)之间还具有所述液晶空间光调制器(3),且所述液晶空间光调制器(3)为透射式结构的空间光调制器,用于对所述偏振分束镜(2)透射的P偏振光的相位和振幅进行调制后得到P偏振光。

5.如权利要求1所述的曝光设备,其特征在于,所述液晶空间光调制器(3)位于所述偏振分束镜(2)与所述第二反射组件(5)之间,所述液晶空间光调制器(3)为透射式结构的空间光调制器,且用于对所述偏振分束镜(2)透射的P偏振光的相位和振幅进行调制后得到S偏振光。

6.如权利要求1-5任一所述的曝光设备,其特征在于,所述第一反射组件(4)包括第一反射镜(41)、第一转盘(42)和第一滑轨(43);

所述第一反射镜(41)固定于所述第一转盘(42)上,所述第一转盘(42)位于所述第一滑轨(43)上,且能够沿着所述第一滑轨(43)滑动,所述第一滑轨(43)的长度方向与所述第一反射镜(41)的入射光的方向平行。

7.如权利要求1-5任一所述的曝光设备,其特征在于,所述第二反射组件(5)包括第二反射镜(51)、第二转盘(52)和第二滑轨(53);

所述第二反射镜(51)固定于所述第二转盘(52)上,所述第二转盘(52)位于所述第二滑轨(53)上,且能够沿着所述第二滑轨(53)滑动,所述第二滑轨(53)的长度方向与所述第二反射镜(51)的入射光的方向平行。

8.如权利要求1所述的曝光设备,其特征在于,所述耦合组件(6)包括三角棱镜(61)和梯形棱镜(62);

所述三角棱镜(61)的第一侧面(611)朝向所述第一反射组件(4),所述三角棱镜(61)的第二侧面(612)与所述全息衍射基板(7)的第一表面接触,且所述三角棱镜(61)的第一侧面(611)与第二侧面(612)之间的夹角为锐角,所述全息衍射基板(7)的第一表面涂覆有所述光致聚合物材料;

所述梯形棱镜(62)的下底面(621)与所述全息衍射基板(7)的第二表面接触。

9.如权利要求1所述的曝光设备,其特征在于,所述曝光设备还包括半波片(8);

所述半波片(8)位于所述激光器(1)与所述偏振分束镜(2)之间,所述半波片(8)用于接收所述激光器(1)出射的光束,并将所述光束导向所述偏振分束镜(2)。

10.如权利要求9所述的曝光设备,其特征在于,所述曝光设备还包括准直扩束组件(9);

所述准直扩束组件(9)位于所述激光器(1)与所述半波片(8)之间,所述准直扩束组件(9)用于将所述激光器(1)出射的光束转换为平行光且增加所述平行光的宽度。

11.如权利要求10所述的曝光设备,其特征在于,所述准直扩束组件(9)包括准直透镜(91)和物镜(92);

所述准直透镜(91)位于所述激光器(1)的出光侧,所述物镜(92)位于所述准直透镜(91)与所述半波片(8)之间,所述准直透镜(91)用于将所述激光器(1)出射的光束转换为平行光,所述物镜(92)用于增加所述平行光的宽度。

12.如权利要求10或11所述的曝光设备,其特征在于,所述曝光设备还包括第三反射镜(10);

所述第三反射镜(10)位于所述激光器(1)的出光侧且位于所述准直扩束组件(9)的入光侧,所述第三反射镜(10)用于将所述激光器(1)出射的光束反射至所述准直扩束组件(9)。

13.一种近眼显示设备,其特征在于,所述近眼显示设备包括通过权利要求1-12任一所述的曝光设备形成的衍射效率渐变的全息衍射光栅。