1.一种调整组件,其特征在于,包括:第一移动盘和第二移动盘;
所述第一移动盘和所述第二移动盘纵向依次设置,所述第一移动盘具有纵向贯穿所述第一移动盘的第一通孔,所述第二移动盘具有纵向贯穿所述第二移动盘的第二通孔,所述第一通孔和所述第二通孔用于设置同一纵向的插销;所述第一通孔在第二方向上的横向尺寸大于所述插销;所述第二通孔在第一方向上的横向尺寸大于所述插销;所述第一方向和所述第二方向均为横向,且所述第一方向和所述第二方向不同;
所述第一移动盘置于第一方向的导轨上,在所述第一移动盘沿所述第一方向移动时,带动所述插销沿所述第一方向移动;所述第二移动盘置于第二方向的导轨上,在所述第二移动盘沿所述第二方向移动时,带动所述插销沿所述第二方向移动。
2.根据权利要求1所述的组件,其特征在于,所述第一方向的导轨设置在第一固定盘上,所述第二方向的导轨设置在第二固定盘上,所述第一固定盘和所述第二固定盘纵向连接。
3.根据权利要求2所述的组件,其特征在于,所述第一固定盘上设置有沿所述第一方向的第一移动螺丝,用于在旋进时控制所述第一移动盘沿所述第一方向的移动;所述第二固定盘上设置有沿所述第二方向的第二移动螺丝,用于在旋进时控制所述第二移动盘沿所述第二方向的移动。
4.根据权利要求3所述的组件,其特征在于,所述第一移动螺丝上设置有第一旋钮,所述第一旋钮上设置有刻度,用于体现所述第一旋钮的旋转角度;所述第二移动螺丝上设置有第二旋钮,所述第二旋钮上设置有刻度,用于体现所述第二旋钮的旋转角度。
5.根据权利要求2所述的组件,其特征在于,所述第一固定盘上还设置有沿所述第一方向的第一固定螺丝,用于在旋进后固定所述第一移动盘的位置;所述第二固定盘上还设置有沿所述第二方向的第二固定螺丝,用于在旋进后固定所述第二移动盘的位置。
6.根据权利要求5所述的组件,其特征在于,所述第一固定螺丝上设置有第三旋钮,所述第三旋钮上设置有刻度,用于体现所述第三旋钮的旋转角度;所述第二固定螺丝上设置有第四旋钮,所述第四旋钮上设置有刻度,用于体现所述第四旋钮的旋转角度。
7.根据权利要求2‑6任一项所述的组件,其特征在于,所述第一固定盘具有第一盘面和位于所述第一盘面两侧的沿所述第一方向的第一侧壁,所述第一方向的导轨置于所述第一侧壁上,所述第一盘面中设置有与所述第一通孔相对的第一开口;在所述第一移动盘置于所述第一方向的导轨上时,所述第一侧壁的上表面与所述第一移动盘上表面齐平,或高于所述第一移动盘上表面;
所述第二固定盘具有第二盘面和位于所述第二盘面两侧的沿所述第二方向的第二侧壁,所述第二方向的导轨置于所述第二侧壁上,所述第二盘面中设置有与所述第二通孔相对的第二开口;在所述第二移动盘置于所述第二方向的导轨上时,所述第二侧壁的上表面与所述第二移动盘上表面齐平,或高于所述第一移动盘上表面;所述第一固定盘的底部和所述第二侧壁固定。
8.根据权利要求7所述的组件,其特征在于,所述第二固定盘设置于固定平台上,所述固定平台具有承重脚架。
9.根据权利要求1‑6任一项所述的组件,其特征在于,所述第一方向和所述第二方向垂直。
10.一种机台,其特征在于,包括:
旋转式轴承组件,所述旋转式轴承组件用于承载晶圆;
如权利要求1‑9任一项所述的调整组件,在所述插销连接所述调整组件和旋转式轴承组件时,所述调整组件利用所述插销带动所述旋转式轴承组件沿所述第一方向和/或所述第二方向移动。