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专利号: 2020107717769
申请人: 重庆邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种应用于6G波分复用系统的太赫兹分波器,其特征在于,包括图案层(1)和介质层(2),图案层由N×N个双开口方环结构单元(3)周期性排列组成,图案层(1)紧贴于介质层(2)表面;

所述双开口方环结构单元(3)由一个双开口方环(31)和一个金属线(32)组成,所述金属线(32)位于双开口方环(31)的开口位置;

所述金属线(32)为长方体,金属线(32)的长比双开口方环(31)的边长更长;

双开口方环(31)沿水平方向左右两侧均设置相同宽度的开口;

所述金属线(32)水平放置在双开口方环(31)的开口位置,金属线(32)左侧超出双开口方环(31)部分的长度与金属线(32)右侧超出双开口方环(31)部分的长度相等;

所述6G波分复用系统为0.120THz和0.300THz通信窗口的分波;

双开口方环(31)环宽为:15μm~20μm,外侧边长为200μm~300μm;

金属线(32)长度为:200μm~300μm,宽为:1μm~10μm,厚度为:0.1μm~0.3μm。

2.根据权利要求1所述的一种应用于6G波分复用系统的太赫兹分波器,其特征在于,所述介质层(2)的材料为石英晶体、聚酰亚胺、硅的一种,介质层(2)厚度为25μm~100μm。

3.根据权利要求1所述的一种应用于6G波分复用系统的太赫兹分波器,其特征在于,图案层(1)材料为金、银、铜中的一种,图案层(1)厚度为0.1μm~0.3μm。

4.根据权利要求1所述的一种应用于6G波分复用系统的太赫兹分波器,其特征在于,双开口方环结构单元(3)周期性排列的周期为280μm~300μm。

5.一种如权利要求1所述的应用于6G波分复用系统的太赫兹分波器的制作方法,所述

6G波分复用系统为0.120THz和0.300THz通信窗口的分波,其特征在于,包括以下步骤:T1.清洗光刻板和介质层;

T2.将烘干后的介质层表面涂覆HMDS后进行涂胶和前烘;

T3.紫外曝光检查匀胶石英片与掩模板曝光区对齐后,开始曝光;

T4.将预制的掩膜版上的图案层图形转移到介质层的光刻胶上,再使用3038正胶显影液,显影时间控制在45秒得到样本;

T5.先去除样本上的光胶并沉积金属薄膜;

T6.最后对样本进行裂片处理。

6.根据权利要求5所述的一种应用于6G波分复用系统的太赫兹分波器制作方法,其特征在于,为了保护样本上沉积的金属薄膜,裂片之前在有金属的一面涂上光刻胶,再将样本贴在蓝膜上,按照滤波图形的尺寸要求进行切割。