1.一种微波等离子清洗机,其特征在于,它包括上料装置﹑等离子清洗本体﹐所述的上料装置包括门把手、电磁门、观察窗、产品支架、载物板、真空吸盘、导轨,所述的等离子清洗本体包括外壳、微波屏蔽板﹑微波屏蔽罩、石英腔体、微波本体、微波腔、电源、PLC、气体流量控制器、三通配管、真空计、电风扇、微波开关、电磁门开关、控制面板、底座,石英腔体安装在微波屏蔽罩内部,微波腔固定在微波屏蔽板上,微波本体安装在微波腔上部,三通配管固定于出气法兰,与石英腔体相通,真空计固定在三通配管上部,气体流量控制器通过固定板固定在底座上；

载物板由一块矩形薄板构成，上面布满了圆形小孔，下部安装有真空吸盘；

石英腔体外部固定有圆柱形的多个加热管﹐多个加热管相对于石英腔体对称分布；

电磁门与石英腔体相配合的部位有多个圆形板﹐呈阶梯分布,与前屏蔽板上呈阶梯分布的圆形腔相配合。

2.根据权利要求1所述的微波等离子清洗机,其特征是:进气孔位于进气法兰的上部，进气孔与匀气结构相连。

3.根据权利要求1所述的微波等离子清洗机﹐其特征是:导轨固定在电磁门的底部﹐与底座的圆形通孔相配合。