1.一种基于压电陶瓷精密位移的激光调阻方法,其特征在于,包括光束整形头(3)、压电陶瓷位移模块(6)和脉冲激光器(4),所述脉冲激光器(4)与光束整形头(3)连接,所述压电陶瓷位移模块(6)设于光束整形头(3)内,所述光束整形头(3)内设有准直镜片(5),所述准直镜片(5)用于保证入射光可以整形成为平行光,所述压电陶瓷位移模块(6)用于控制准直镜片(5)位移;
所述光束整形头(3)内还设有压电陶瓷控制电路,所述压电陶瓷控制电路包括第一光耦(101)、第二光耦(102)、第一三极管(103)和第二三极管(104),所述第一光耦(101)通过第一三极管(103)连接压电陶瓷,所述第二光耦(102)通过第二三极管(104)连接压电陶瓷;
所述激光调阻方法包括:
一、将正在调阻的片状电阻(9)连接上高精密快速电桥,在进行激光调阻过程中不断通过高精密快速电桥实时检测片状电阻(9)的阻值变化;
二、输入端SP输入高电平,输入端ST输入低电平,第一光耦(101)控制压电陶瓷位移模块(6)正向位移,带动准直镜片(5)的正向移动;
三、输入端ST输入高电平,输入端SP输入低电平,通过第二光耦(102)控制压电陶瓷位移模块(6)反向位移,带动准直镜片(5)的反向移动;
四、当片状电阻(9)的阻值达到要求的电阻精度时,激光调阻结束;
所述第一三极管(103)的集电极和发射极上并联有第一二极管(105),所述第二三极管(104)的集电极和发射极上并联有第二二极管(106),所述第一三极管(103)的集电极与第二三极管(104)的发射极相连,所述压电陶瓷位移模块(6)连接在第一三极管(103)的集电极上,所述光束整形头(3)通过固定轴(2)固定连接在支架(1)上,所述支架(1)上还设有移动平台(8),所述片状电阻(9)放置在移动平台(8)上。
2.根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷精密位移的激光调阻方法,其特征在于:所述光束整形头(3)的底部还设有保护镜片(7),保护镜片(7)用于激光调阻时产生的蒸汽不会损伤光束整形头(3)。
3.根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷精密位移的激光调阻方法,其特征在于:所述光束整形头(3)内部为真空环境。