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专利号: 2020101908584
申请人: 木昇半导体科技(苏州)有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种MOCVD尾管免拆清理装置,包括前端清理组件及尾端连接组件两部分,所述尾端连接组件包括一根尾端线缆(1),所述尾端线缆(1)的一端与外部功能器件固定连接、所述尾端线缆(1)的另一端与所述前端清理组件相连接,其特征在于:所述前端清洁组件包括一根前端线缆(2),所述前端线缆(2)的一侧端部固定设置有清扫器件、所述前端线缆(2)的另一端与所述尾端线缆(1)的端部相连接,所述前端清洁组件还包括固定设置于所述前端线缆(2)外周侧、用于使装置整体在MOCVD尾管内部沿管路延伸方向活动的移动器件。

2.根据权利要求1所述的MOCVD尾管免拆清理装置,其特征在于:所述外部功能器件至少包括驱动电源、变压器以及拖拽绳理线盘。

3.根据权利要求1所述的MOCVD尾管免拆清理装置,其特征在于:所述前端线缆(2)与所述尾端线缆(1)二者的线材结构相同,所述线材结构为共轴嵌套设置的三层结构、分别包括中心电缆层、拖拽绳层以及线材外膜层(3),所述中心电缆层内设置有多根用于为所述清扫器件供能的中心电机电缆(4),所述拖拽绳层紧密包覆于所述中心电缆层外周侧,所述线材外膜层(3)紧密包覆于所述拖拽绳层外周侧。

4.根据权利要求3所述的MOCVD尾管免拆清理装置,其特征在于:所述拖拽绳层由设置于内侧的中间层拖拽绳(5)以及设置于外侧的外层拖拽绳(6)组合而成,所述中间层拖拽绳(5)为抗拉绝缘材质柔性管,所述外层拖拽绳(6)为抗拉含钢丝柔性管。

5.根据权利要求4所述的MOCVD尾管免拆清理装置,其特征在于:所述尾端线缆(1)的另一端固定设置有连接公头(7),所述连接公头(7)与所述尾端线缆(1)的结合处热熔焊接固定,所述连接公头(7)的外周侧开设有连接螺纹。

6.根据权利要求5所述的MOCVD尾管免拆清理装置,其特征在于:所述清扫器件包括一台同轴对转无刷电机(8),所述前端线缆(2)内部的中心电机电缆(4)与所述同轴对转无刷电机(8)电性连接并为其供能,所述同轴对转无刷电机(8)的端部共轴设置有两个输出部,每个所述输出部上均固定安装有一个盘型刷头(9),所述盘型刷头(9)的盘面直径与MOCVD尾管的内径相匹配。

7.根据权利要求6所述的MOCVD尾管免拆清理装置,其特征在于:所述前端线缆(2)的长度与MOCVD尾管内弯折处的长度相匹配,所述前端线缆(2)的另一端固定设置有连接母头(10),所述连接母头(10)与所述前端线缆(2)的结合处热熔焊接固定,所述连接母头(10)的外周侧设置有一圈固定凸起;在所述前端线缆(2)与所述尾端线缆(1)的组合状态下,连接母头(10)的端部与所述连接公头(7)插接固定且所述前端线缆(2)与所述尾端线缆(1)二者内部的所述中心电机电缆(4)相连通。

8.根据权利要求7所述的MOCVD尾管免拆清理装置,其特征在于:所述移动器件包括第一行走轮器件,所述第一行走轮器件包括第一连接套环(11)及多个行走轮(13),所述第一连接套环(11)固定嵌套于所述同轴对转无刷电机(8)的外周侧,所述第一连接套环(11)的外周侧对称设置有多个连接臂,每个连接臂的末端均设置有一个行走轮(13);当装置整体伸入MOCVD尾管内时,每个所述行走轮(13)的外沿均与所述MOCVD尾管的内壁相触接。

9.根据权利要求8所述的MOCVD尾管免拆清理装置,其特征在于:所述移动器件还包括第二行走轮器件,所述第二行走轮器件包括第二连接套环(12)及多个行走轮(13),所述第二连接套环(12)的外周侧对称设置有多个连接臂,每个连接臂的末端均设置有一个行走轮(13);当装置整体伸入MOCVD尾管内时,每个所述行走轮(13)的外沿均与所述MOCVD尾管的内壁相触接。

10.根据权利要求9所述的MOCVD尾管免拆清理装置,其特征在于:所述第二连接套环(12)的内径大于所述连接母头(10)的外径,所述第二连接套环(12)的一侧端部设置有一圈固定凸台,所述第二连接套环(12)的内侧壁开设有连接螺纹;在装置的组合状态下,所述第二连接套环(12)上的固定凸台与所述连接母头(10)上的固定凸起相配合、将所述连接母头(10)固定于所述第二连接套环(12)内部,所述第二连接套环(12)上的连接螺纹与所述连接公头(7)上的连接螺纹相配合、将所述第二连接套环(12)与所述连接公头(7)紧密固定连接。