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专利号: 2019223974143
申请人: 无锡新微阳科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-09-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆匣升降台快速卡接机构,包括升降台(2),所述升降台(2)位于用于对晶圆(8)检测的中测台(1)内,其特征在于:还包括设置在中测台(1)一侧的升降台(2)内的卡接机构(4),所述升降台(2)中开设有安置腔(21),所述卡接机构(4)位于安置腔(21)内,所述升降台(2)上还承放有晶圆匣(3),所述升降台(2)上还可设有对卡接机构(4)进行导向的若干导向槽(23),所述导向槽(23)与安置腔(21)连通。

2.根据权利要求1所述的晶圆匣升降台快速卡接机构,其特征在于:所述卡接机构(4)包括多个定位杆(41)、连接杆(42)和定位气缸(43),所述安置腔(21)内设置有隔板(5),所述定位气缸(43)分别位于隔板(5)的两侧,所述定位气缸(43)的活塞缸端部与连接杆(42)连接,所述连接杆(42)远离定位气缸(43)的一端连接定位杆(41),所述定位杆(41)与定位气缸(43)的活塞杆轴线垂直,所述定位杆(41)从导向槽(23)中穿出。

3.根据权利要求2所述的晶圆匣升降台快速卡接机构,其特征在于:所述定位杆(41)远离与连接杆(42)连接的一端连接有定位块(44),所述晶圆匣(3)的内壁开设有供定位块(44)和定位杆(41)卡合的定位槽(31)。

4.根据权利要求2所述的晶圆匣升降台快速卡接机构,其特征在于:所述升降台(2)上还设置有限位块(24),所述限位块(24)背离升降台(2)的一侧开设有限位槽(25),所述晶圆匣(3)对应限位槽(25)的位置设有与限位槽(25)适配的承托杆(32)。

5.根据权利要求3所述的晶圆匣升降台快速卡接机构,其特征在于:所述安置腔(21)内还设置有调节定位气缸(43)位置的调节装置(6)。

6.根据权利要求5所述的晶圆匣升降台快速卡接机构,其特征在于:所述调节装置(6)包括调节电机(61)、传动杆(62)、双向丝杠(63)和两个移动板(64),两个所述移动板(64)分设在隔板(5)的两侧,所述安置腔(21)底壁开设有滑道(211),所述移动板(64)一侧固设有与滑道(211)滑移的滑块(65),所述定位气缸(43)与移动板(64)背离滑块(65)的一侧连接,所述调节电机(61)位于隔板(5)的一端,所述调节电机(61)同轴连接传动杆(62),所述传动杆(62)远离调节电机(61)的一端连接有主动锥齿(66),所述双向丝杠(63)穿设在隔板(5)中,所述双向丝杠(63)中间位置连接有与主动锥齿(66)啮合的从动锥齿(67),所述传动杆(62)轴线与双向丝杠(63)轴线垂直,所述双向丝杠(63)两端分别与隔板(5)两侧的移动板(64)螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆匣升降台快速卡接机构,其特征在于:所述定位杆(41)和定位块(44)朝向晶圆匣(3)的一侧均粘附有缓冲垫(45)。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的晶圆匣升降台快速卡接机构,其特征在于:所述晶圆匣(3)沿高度方向开设有若干承放晶圆(8)的托槽(33)。