1.一种PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置，包括收片盒(1)、和放置装置，其特征在于：所述放置装置包括有U形槽(2)、升降板(3)和液压升降机(4)，所述U形槽(2)内嵌入设置有升降板(3)，所述升降板(3)的底部表面中央焊接设置有液压升降机(4)，所述U形槽(2)的左侧表面外部贯穿设置有进气管(9)，所述U形槽(2)的内侧表面中央嵌入设置有倾斜管(10)，所述升降板(3)的上表面中央焊接设置有定位块(11)；

所述收片盒(1)包括有倾斜底板(5)、海绵层(6)和贯穿槽(8)，所述收片盒(1)的内侧表面底部固定设置有倾斜底板(5)，所述收片盒(1)的内侧表面左端通过固定胶固定设置有海绵层(6)，所述海绵层(6)的右侧表面通过固定胶固定设置有硅胶板(7)，所述收片盒(1)的中央贯穿设置有贯穿槽(8)。

2.根据权利要求1所述的PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置，其特征在于：所述收片盒(1)与放置装置均为右侧开口的凹槽状。

3.根据权利要求1所述的PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置，其特征在于：所述倾斜底板(5)为右侧水平高度高左侧水平高度低的倾斜状，且倾斜底板的倾斜角度为

10°-15°。

4.根据权利要求1所述的PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置，其特征在于：所述进气管(9)与倾斜管(10)相互焊接，所述倾斜管(10)为左侧水平高度高右侧水平高度低的倾斜状，且倾斜角度为30°-45°。

5.根据权利要求1所述的PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置，其特征在于：所述倾斜管(10)嵌入于贯穿槽(8)内，且倾斜管(10)的长度小于贯穿槽(8)的宽度。

6.根据权利要求1所述的PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置，其特征在于：所述收片盒(1)的底部表面中央嵌入设置有嵌入槽，且定位块(11)可嵌入于嵌入槽内。