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一种PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置
￥1700
专利号： 2019215853039
申请人： 杨敏
专利类型：实用新型
专利状态：已下证
更新日期：2026-05-22
缴费截止日期： 暂无
国家局暂未公布该信息
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