1.一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座,包括钢构架(1)、减震结构(3)、承托板(4)和底板(6),其特征在于:所述钢构架(1)下端一体成形的设有若干支撑腿(2),所述支撑腿(2)下端焊接有固定座(5),所述固定座(5)通过固定螺栓固定连接在底板(6)上端,所述底板(6)通过固定螺栓固定连接在地面上,所述钢构架(1)上端四角和中间设有减震结构(3),所述减震结构(3)上端焊接承托板(4),所述承托板(4)上端通过固定螺栓固定连接机台的底部。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座,其特征在于:所述减震结构(3)包括焊接在钢构架(1)上的下限位套筒(8),所述下限位套筒(8)上端内部插接上限位套筒(7),所述上限位套筒(7)和下限位套筒(8)之间内部焊接有弹簧(9),所述上限位套筒(7)上端焊接在承托板(4)的下端面。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座,其特征在于:所述固定座(5)通过固定螺栓固定连接在底板(6)上,所述固定座(5)与底板(6)连接处之间垫设有垫片(10)。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座,其特征在于:所述底板(6)下端粘接有缓冲层(11),所述缓冲层(11)为橡胶材料制成,所述底板(6)面积大于若干固定座(5)之间的面积,所述底板(6)上端面为水平板。