1.一种超纯砷烷的分析装置，包括定量筒(6)，其特征在于，所述定量筒(6)顶端的中部固定设有螺纹连接头(5)，所述定量筒(6)的一端分别螺纹连接有第一气体管道(7)和第二气体管道(8)，所述第一气体管道(7)的一端螺纹连接有预分析柱(9)，所述预分析柱(9)的一端螺纹连接有第三气体管道(12)，所述第三气体管道(12)的一端螺纹连接有DID检测仪(14)，所述DID检测仪(14)的一侧螺纹连接有第四气体管道(13)，所述第四气体管道(13)和第二气体管道(8)之间螺纹连接有第一分析柱(10)和第二分析柱(11)。

2.根据权利要求1所述的一种超纯砷烷的分析装置，其特征在于：所述预分析柱(9)的内部活动设有CST填充柱，所述第一分析柱(10)的内部活动设有5A分子筛填充柱，所述第二分析柱(11)的内部活动设有Haysep Q填充柱。

3.根据权利要求1所述的一种超纯砷烷的分析装置，其特征在于：所述定量筒(6)的另一端螺纹连接有隔膜阀(4)，所述隔膜阀(4)的一端螺纹连接有防逆管道(3)，所述防逆管道(3)的一端通过安装有的法兰件(2)螺纹连接有分子泵机组(1)。

4.根据权利要求1所述的一种超纯砷烷的分析装置，其特征在于：所述第一分析柱(10)的长度和直径、第二分析柱(11)的长度和直径和预分析柱(9)的长度和直径均相等。