1.一种碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，包括进气装置主体，进气装置主体的前部设置有混合腔、后部设置有冷却腔；混合腔的前侧设置有进气管、后侧设置有多根出气管，出气管穿过所述冷却腔；

还包括插接在进气装置主体前部并与冷却腔连通的冷却液入口管和冷却液出口管，以及多根穿设在进气装置主体上、下部的吹扫管；

所述进气装置主体的后部穿过碳化硅外延生长设备的过渡区域。

2.根据权利要求1所述的碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，所述混合腔内设置有一块隔板，隔板把混合腔分隔为前后两个区域，隔板上均匀排布有多个连通孔。

3.根据权利要求2所述的碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，所述隔板上正对所述进气管的位置设置有撞击锥。

4.根据权利要求1所述的碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，所述出气管呈矩阵分布。

5.根据权利要求1所述的碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，所述进气装置主体的上部和下部的吹扫管均沿宽度方向直线排布。

6.根据权利要求1所述的碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，所述进气装置主体包括主体部、前封盖和后封盖，所述混合腔由主体部与前封盖围成，所述冷却腔由主体部与后封盖围成。

7.根据权利要求6所述的碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，所述主体部与前封盖之间、主体部与后封盖之间均设置有密封垫层。

8.根据权利要求1所述的碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，所述进气装置主体滑动穿设在碳化硅外延生长设备的机壳上，其前后位置可调。

9.根据权利要求8所述的碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，还包括两根设置在机壳前侧并沿前后方向延伸的滑轨，所述进气装置主体底部的前侧分别通过滑块与两根滑轨滑动连接，滑块通过锁定螺丝锁定在滑轨上。

10.根据权利要求9所述的碳化硅外延生长设备的进气装置，其特征在于，每根滑轨固定在一个支架上；每个支架包括一根与滑轨平行的枕梁，以及连接在枕梁底部的三角支撑板；枕梁和三角支撑板均与机壳固连，滑轨固定在枕梁上。