1.一种利用热载流子增强硅基光热电效应光电转换器,其特征在于:包括绝缘基底层(1),所述绝缘基底层(1)的上方设置有第一电极(2)、第二电极(3)、硅基底层(4),所述硅基底层(4)位于第一电极(2)与第二电极(3)之间,所述硅基底层(4)与第一电极(2)电接触,所述硅基底层(4)与第二电极(3)电接触,所述硅基底层(4)的上方设置有多个陷光槽(5),所述陷光槽(5)的侧壁上设置有多个等离激元共振结构(6)。
2.如权利要求1所述的一种利用热载流子增强硅基光热电效应光电转换器,其特征在于:所述陷光槽(5)为周期排列。
3.如权利要求1所述的一种利用热载流子增强硅基光热电效应光电转换器,其特征在于:所述陷光槽(5)为倒三角形。
4.如权利要求1所述的一种利用热载流子增强硅基光热电效应光电转换器,其特征在于:所述陷光槽(5)分为左斜壁(7)、右斜壁(8),所述左斜壁(7)上设置有多个等离激元共振结构(6),右斜壁(8)设置有多个等离激元共振结构(6)。
5.如权利要求4所述的一种利用热载流子增强硅基光热电效应光电转换器,其特征在于:所述左斜壁(7)上设置的多个等离激元共振结构(6)为周期排列,所述右斜壁(8)设置的多个等离激元共振结构(6)同样为周期排列。
6.如权利要求5所述的一种利用热载流子增强硅基光热电效应光电转换器,其特征在于:所述左斜壁(7)上设置的多个等离激元共振结构(6)的周期与所述右斜壁(8)设置的多个等离激元共振结构(6)的周期相同或者不同。
7.如权利要求1所述的一种利用热载流子增强硅基光热电效应光电转换器,其特征在于:所述等离激元共振结构(6)是由金或银制成。
8.如权利要求1所述的一种利用热载流子增强硅基光热电效应光电转换器,其特征在于:所述绝缘基底层(1)是由氮化镓制成。