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专利号: 2019111843422
申请人: 安徽顺彤包装材料有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种可调张力的镀膜机,其特征在于:包括装载支架(1)、顶接板(2)、托载台(4)和泵体(5),所述装载支架(1)顶部中间处水平设置有顶接板(2),且所述装载支架(1)两端均竖向设置有侧封板(3),两个侧封板(3)之间水平嵌设有托载台(4),所述泵体(5)设置在装载支架(1)一端下方,且所述泵体(5)一端通过抽气管(6)分别与两个侧封板(3)贯穿连接,所述装载支架(1)内部设置有镀膜仓(7);

其中,所述顶接板(2)底部水平设置有挂台(30),且所述挂台(30)上竖向挂接有溅射机构(31);

两个侧封板(3)一端竖向设置有中空U形结构的夹框(8),两个夹框(8)直接竖向套设有端盖板(9),所述端盖板(9)底部设置有密封胶垫(10);

其中,两个夹框(8)中部套设有电机一(11),所述电机一(11)一端转动连接有齿轮一(13),且所述端盖板(9)两端均设置有与齿轮一(13)相适配的齿带(12);

所述镀膜仓(7)一端底部设置有底插板(14),且所述底插板(14)设置有与密封胶垫(10)相适配的插槽(15),且所述镀膜仓(7)底部平行设置有若干个运送机构;

其中,所述运送机构为两个呈平行设置的电机二(16),所述电机二(16)上方转动连接有若干个圆柱形的转辊(17),且所述电机二(16)上方设置有液压油缸(18),所述液压油缸(18)上方通过液压轴(26)伸动连接有载装框(19),且所述载装框(19)两端上方均设置有电机三(20),所述电机三(20)上转动连接有履带(21),且所述履带(21)上方竖向设置有活动板(22),所述活动板(22)内壁垂直设置有电机四(23),所述电机四(23)一端转动连接有两个夹爪(23);

其中,所述液压油缸(18)底部两端均设置有两个侧扣板(24),所述侧扣板(24)内侧底部设置有滚动轮(25);

所述电机二(16)两端上方均设置有与滚动轮(25)相适配的内凹的滚槽一(1601);

所述托载台(4)上平行设置有若干个横撑杆(28),若干个所述横撑杆(28)两两之间均设置有中空的落槽(29);

所述挂台(30)上设置有中空的滚槽二(32),所述溅射机构(31)顶部竖向设置内载板(34),且所述内载板(34)内壁设置有电机五(33),所述内载板(34)外壁竖向设置有轨板(35),且所述轨板(35)上套设有电机六(36),所述电机六(36)一端通过螺栓固定连接有外载板(37),且所述外载板(37)底部两端均设置有电机七(38),两个所述电机七(38)之间转动连接有旋摆板(39),所述旋摆板(39)中套设有电子枪(40);

其中,所述电机五(33)连接到滚槽二(32)内部。

2.根据权利要求1所述的一种可调张力的镀膜机,其特征在于,所述齿带(12)上等间距设置有若干个滚齿,齿轮一(13)一端连接到齿带(12)上,电机一(11)通过齿轮一(13)配合齿带(12)与端盖板(9)活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种可调张力的镀膜机,其特征在于,所述夹框(8)底部通过密封胶垫(10)连接到插槽(15)内部。

4.根据权利要求1所述的一种可调张力的镀膜机,其特征在于,若干个转辊(17)呈等间距分布,且若干个转辊(17)之间呈平行设置。

5.根据权利要求1所述的一种可调张力的镀膜机,其特征在于,所述电机三(20)通过履带(21)与活动板(22)活动连接,且活动板(22)底部两端均通过螺栓连接到履带(21)上设置的螺孔中。

6.根据权利要求1所述的一种可调张力的镀膜机,其特征在于,所述电机四(23)一端的两个夹爪(27)呈对称设置,且夹爪(27)为“V”字形结构。

7.根据权利要求1所述的一种可调张力的镀膜机,其特征在于,所述液压油缸(18)底部两端的侧扣板24均通过滚动轮(25)分别连接到电机二(16)两端的滚槽一(1601)。

8.根据权利要求1所述的一种可调张力的镀膜机,其特征在于,所述电机五(33)通过齿轮二在滚槽二(32)中与溅射机构(31)活动连接,且电机六(36)两端均通过齿轮三分别连接到轨板(35)的两端侧壁。

9.根据权利要求1所述的一种可调张力的镀膜机,其特征在于,所述溅射机构(31)和载装框(19)上均设置有红外传感器,且红外传感器与顶接板(2)中的PLC控制器通信连接。

10.根据权利要求1所述的一种可调张力的镀膜机,其特征在于,该镀膜机的使用方法具体包括以下步骤:

步骤一:靶材被摆置在托载台(4)的若干个横撑杆(28)上,将基片放置在载装框(19)两端的电机四(23)之间,载装框(19)两端的电机三(20)带动履带(21)滚动,来带动电机四(23)左右调节活动,从而调节载装框(19)两侧夹爪(27)之间的工作间距,两个电机四(23)均通过夹爪(27)分别抓接基片的两端;

步骤二:随后,电机一(11)通过齿轮一(13)带动端盖板(9)侧部齿带(12)上的滚齿滚动,来带动端盖板(9)向下移动,密封胶垫(10)插装入插槽(15)中,对镀膜仓(7)密封,泵体(5)通过抽气管(6)对镀膜仓(7)内部抽真空处理;

步骤三:溅射机构(31)上的电机五(33)通过齿轮二在滚槽二(32)中滚动,来带动电子枪(40)调节移动至靶材正上方,且电机二(16)通过转辊(17)带动液压油缸(18)和基片移动至靶材下方,电子枪(40)照射轰击靶材,将靶材的表面组分以原子团或离子形式被溅射逸出,逸出的靶材表面组分从等间距设置的若干个落槽(29)中落下,在真空中直线向下运动遇到基板后,在基板表面凝结聚成薄膜,溅射机构(31)上的电机六(36)通过齿轮三在轨板(35)滚动,来带动电子枪上下调节活动,来调节电子枪(40)与靶材之间的工作间距,在靶体的表面组分逸出并凝结到基板上的过程中,电机二(16)通过转辊(17)带动液压油缸(18)和基板前后往复活动,从而对基板进行镀膜处理。