1.一种减摩耐磨齿轮零件的制备工艺，其特征在于：齿轮零件基体经过淬火、高温回火、粗精加工后采用离子镀方法进行渗碳处理，然后再通过离子镀和磁控溅射复合方法沉积表面的VCrWSiC/Cr多层复合涂层，沉积时采用2个C离子镀靶，1个V磁控溅射靶，1个Cr磁控溅射靶，1个W磁控溅射靶和1个Si磁控溅射靶；

具体包括以下步骤：

(1)零件加工：零件基体毛坯→淬火→高温回火→粗加工→半精加工→去应力回火→精加工；

(2)零件表面预处理：采用金属清洗剂去除工件表面油污，漂洗烘干；

(3)零件表面处理：将零件依次放入酒精和丙酮中，超声清洗各30min，去除表面杂质和其它附着物，干燥充分后迅速放入PVD复合镀膜机，抽真空至5.0×10-3Pa，加热至285℃，保温25min；

(4)表面辉光清洗：通Ar气，其压力为1.8-2.0Pa，温度285℃，打开偏压电源电压700V，占空比0.2，表面辉光放电清洗20min；

(5)表面离子清洗：偏压调至610V，占空比0.2，Ar气压2.2Pa，温度275℃，开启离子源，离子清洗20min，开启电弧C靶电源，C靶电流110A，离子轰击3～4min；

(6)离子镀渗碳：C靶离子镀电源调为110A，Ar气压1.0～1.2Pa，基体偏压调至420V，温度265℃，进行离子渗碳25-30min；

(7)沉积Cr涂层：Ar气压调为0.9～1.0Pa，偏压降为190V，沉积温度220℃，关闭C靶电流，打开磁控溅射Cr靶电流60A，沉积Cr涂层1～1.5min；

(8)沉积VCrWSiC涂层：Ar气压调为0.8～0.9Pa，偏压降为180V，沉积温度220℃，打开C靶电流至45A，打开磁控溅射V靶电流75A，磁控溅射Cr靶电流60A，磁控溅射W靶电流50A，磁控溅射Si靶电流40A，沉积VCrWSiC涂层1～1.5min；其它参数不变，增加C靶电流，C靶电流每次增加2A，沉积VCrWSiC/Cr复合层1～1.5min，直至C靶电流增至90A，再沉积VCrWSiC/Cr复合层1～1.5min；

(9)重复(7)、(8)、(7)……：交替沉积Cr涂层、VCrWSiC涂层、Cr涂层、VCrWSiC涂层、……、Cr涂层、VCrWSiC涂层共40min；

(10)后处理：关闭各靶电源、离子源及气体源，涂层结束。

2.根据权利要求1所述的减摩耐磨齿轮零件的制备工艺，其特征在于：齿轮零件基体材料为20Cr，20MnB，20CrMo,20CrMnTi,20CrMnMo,20CrNi2MoNb，22CrNi2MoNb，20NiCrMoH，

22CrNi2MoNbH，30CrMnSi,35SiMn中低碳钢及其合金钢中的一种。

3.根据权利要求1所述的减摩耐磨齿轮零件的制备工艺，其特征在于：所制得的齿轮零件具有以下结构：在零件基体1表面向外依次具有表面渗碳扩散层2、Cr涂层3、VCrWSiC涂层

4、VCrWSiC/Cr交替的复合涂层5。