1.一种提高喷号机喷针表面耐磨性的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)在真空腔体四周1～4个靶座上安装镀膜所需的铬、钛、铝、硅靶材；

清洗喷针：

碱洗：用浓度为20～50g/L的Na2CO3溶液超声波清洗，加热到70～80℃，超声波频率

70Hz，清洗10～30min；

工业清洗剂超声波清洗：将工业清洗剂与去离子水1:3稀释加到超声波清洗机中，加热到70-80℃，超声波频率70Hz，清洗10～30min；用去离子水冲洗喷针；

酒精清洗：将喷针置于装有无水乙醇的烧杯中，并放在超声波清洗机中清洗10～

30min，取出吹干，再放于100～200℃的烘干箱中烘干10～30min；

2)镀膜前真空清洗：

将喷针固定在真空腔体内自转架上，先预抽真空至1～20Pa，开分子泵，待分子泵转速-4 -3达到2000r/min以上后，抽真空使腔体内压强降到10 ～10 Pa，加热至200～400℃，保温，通氩气及氮气；

开1～4根灯丝，灯丝预热15～30min，-50～-200V低偏压清洗10～40min，-200～-400V高偏压清洗10～40min；靶电流调至1～10A，清洗靶10～40min；

3)镀膜：

真空清洗完成后，基体直流偏压调节到-50～-100V，控制氩气流量100～200sccm，氮气流量0～200sccm，真空腔体压强控制在0.3～2.0Pa之间；调节灯丝电流为1～10A，开1～4个靶电源，靶电流为1～10A，打开挡板，开始溅射，直到镀膜结束。

2.根据权利要求1所述的一种提高喷号机喷针表面耐磨性的方法，其特征在于，真空腔体四周缠绕4根灯丝，腔体四壁分别设矩形金属靶材，其中一块以上靶材为铬靶、钛靶、铝靶或硅靶。