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专利号: 2019108983935
申请人: 桂林电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种压力传感元件,用于压力传感系统,所述压力传感系统包括激光器、光纤、耦合器和光谱分析仪,其特征在于,包括:基底;

加载波导,所述加载波导设置于所述基底上,两个所述耦合器与所述加载波导的两端相连,所述耦合器用于对所述激光器发出的光线进行传导,两个所述耦合器通过所述光纤分别与所述激光器和所述光谱分析仪相连;

所述加载波导包括光栅和形变部,所述光栅与所述形变部相连,所述形变部上设置有一个通孔,所述通孔的轴线与所述基底相平行,所述通孔的轴线与两个所述耦合器之间的连线相垂直;

所述加载波导为脊波导;

所述加载波导的材质为聚二甲基硅氧烷;

所述加载波导的中心谐振波长为1.55微米;

所述通孔的半径为0至1微米;

所述形变部沿着所述通孔的轴线方向的长度为580至1320纳米;

所述光栅周期数为5至16个;

所述光栅周期长度为635至670纳米。

2.根据权利要求1所述的压力传感元件,其特征在于,所述光栅为两个,两个所述光栅分布在所述形变部相对的两侧。

3.根据权利要求2所述的压力传感元件,其特征在于,还包括:传输部,两个所述传输部分别位于两个所述光栅远离所述形变部的一侧。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压力传感元件,其特征在于,所述基底的材质为金或银。

5.一种压力传感系统,其特征在于,包括:激光器、光纤、耦合器、光谱分析仪和权利要求1至4中任一项所述的压力传感元件。