1.一种基于反常霍尔效应的灵敏度可调节的磁场传感器件,其特征在于,该磁场传感器件具有多层膜结构,结构为:从上到下依次为导电层、绝缘层、薄膜层、缓冲层,所述导电层用于接入控制电压,从而调控薄膜层垂直各向异性的大小,来调节磁性传感器件的灵敏度;其中薄膜层和缓冲层经过刻蚀微纳加工成的结构为十字结构,所述的薄膜层由CoFeB和MgO构成,CoFeB的厚度为1.1-1.5nm,MgO的厚度为2-3nm。
2.根据权利要求1所述的一种基于反常霍尔效应的灵敏度可调节的磁场传感器件,其特征在于,所述导电层应为导电材料,为Al、Pt或Ru,厚度为20nm。
3.根据权利要求1所述的一种基于反常霍尔效应的灵敏度可调节的磁场传感器件,其特征在于,所述绝缘层应为绝缘材料,为SiO2、TiO2或Ta2O5,此层厚度选择50nm。
4.根据权利要求1所述的一种基于反常霍尔效应的灵敏度可调节的磁场传感器件,其特征在于,所述的缓冲层为缓冲材料Ta,厚度应为3-5nm。
5.根据权利要求1所述的一种基于反常霍尔效应的灵敏度可调节的磁场传感器件,其特征在于,当沿垂直于传感器件厚度方向通入的控制电压Us为一固定值时,传感器件横向两电极通入恒定电流I,检测来自于和电流方向一致的外部磁场H,而传感器件纵向两电极用于采集随外部磁场变化的电压,从而实现对外部磁场的检测。