1.一种电化学蚀刻实验装置，其特征在于，包括上壳体（1）、下壳体（2）、阳极（3）、阴极（4）、电解液泵（5）、三通球阀（6）、储液箱（7）、压力表（8）、进液管（9）、回液管（10）、调节管（11）和加工电源（12）；其中：

上壳体（1）、下壳体（2）上下布置并安装在一起，上壳体（1）设有上腔体，下壳体（2）设有下腔体，上腔体与下腔体连通形成电解液通道；

阳极（3）通过阳极座（13）安装在上腔体内并且阳极（3）与加工电源（12）正极电连接，阴极（4）通过阴极座（14）安装在下腔体内，阴极（4）与阳极（3）之间留有加工间隙，并且阴极（4）与加工电源（12）负极电连接；

电解液泵（5）的进液口通过软管与储液箱（7）连接且其出液口与三通球阀（6）的第一接口连接，三通球阀（6）的第二接口通过三通接头与压力表（8）连接，三通球阀（6）的第三接口与调节管（11）一端连接且调节管（11）另一端与储液箱（7）连接，进液管（9）一端与电解液通道连通且其另一端与三通接头的出液口连接，回液管（10）一端与电解液通道连通且其另一端与储液箱（7）连接；

还包括管螺纹法兰Ⅰ（15）和管螺纹法兰Ⅱ（16），管螺纹法兰Ⅰ（15）设置在上壳体（1）、下壳体（2）一端并与上壳体（1）、下壳体（2）连接，管螺纹法兰Ⅱ（16）设置在上壳体（1）、下壳体（2）另一端并与上壳体（1）、下壳体（2）连接，进液管（9）、回液管（10）第一端分别与管螺纹法兰Ⅰ（15）、管螺纹法兰Ⅱ（16）连接；

上壳体（1）上设有螺纹孔，阳极座（13）穿过螺纹孔伸入上腔体内并且阳极座（13）与上壳体（1）螺纹配合连接；

阳极座（13）位于上腔体外部一段靠近上壳体（1）位置套有与上壳体（1）连接的密封圈压板Ⅰ（17），阳极座（13）与上壳体（1）连接处靠近密封圈压板Ⅰ（17）位置设有套设在阳极座（13）上的O型密封圈Ⅰ（18）；

下壳体（2）上设有螺纹孔，阴极座（14）穿过螺纹孔伸入下腔体内并且阴极座（14）与下壳体（2）螺纹配合连接；

阴极座（14）位于下腔体外部一段靠近下壳体（2）位置套有与下壳体（2）连接的密封圈压板Ⅱ（19），阴极座（14）与下壳体（2）连接处靠近密封圈压板Ⅱ（19）位置设有套设在阳极座（13）上的O型密封圈Ⅱ（20）；

阴极（4）靠近阳极（3）一端端面为内锥面且该内锥面中心位置设置有沉头盲孔，沉头盲孔内过盈配合有绝缘材料制成的圆柱体（29）。

2.根据权利要求1所述的电化学蚀刻实验装置，其特征在于，还包括阳极螺柱（21），阳极座（13）内设有阶梯孔，该阶梯孔的大径孔为光孔且小径孔为螺纹孔，阳极（3）安装在该阶梯孔的大径孔内并与阳极座（13）间隙配合，并且阳极（3）外部套装有O型密封圈Ⅲ（27），阳极螺柱（21）通过导线与加工电源（12）正极电连接，阳极螺柱（21）穿过该阶梯孔的小径孔与阳极（3）螺纹连接且阳极螺柱（21 ）与阳极座（13）螺纹连接，阳极螺柱（21）上安装有阳极锁紧螺母（22）、阳极螺柱锁紧螺母（23）。

3.根据权利要求1 所述的电化学蚀刻实验装置，其特征在于，还包括阴极螺柱（24），阴极座（14）内设有阶梯孔，该阶梯孔的大径孔为光孔且小径孔为螺纹孔，阴极（4）安装在该阶梯孔的大径孔内并与阴极座（14）间隙配合，并且阴极（4）外部套装有O型密封圈Ⅳ（28），阴极螺柱（24）通过导线与加工电源（12）负极电连接，阴极螺柱（24）穿过该阶梯孔的小径孔与阴极（4）螺纹连接且阴极螺柱（24）与阴极座（14）螺纹连接，阴极螺柱（24）上安装有阴极锁紧螺母（25）、阴极螺柱锁紧螺母（26）。

4.根据权利要求1所述的电化学蚀刻实验装置，其特征在于，上壳体（1）、下壳体（2）、阳极座（13）、阴极座（14）均采用绝缘材料制成。