1.一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，其特征在于：包括以下步骤：S1.用清洗剂超声清洗基材，清洗后干燥得透明导电衬底；

S2.将S1中透明导电衬底送入沉积室中，通入比例为1:6的氧气与氩气，控制总压强为

1Pa，靶材与透明导电衬底的距离为8cm，沉积载流子传输层，沉积时间15min；沉积完成之后将样品托盘送入刻蚀室，将采用直流等离子刻蚀透明导电衬底。

2.根据权利要求1所述的一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，其特征在于：所述基材为FTO、ITO、AZO或ATO透明导电电极。

3.根据权利要求1所述的一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，其特征在于：所述清洗剂为无水乙醇和丙酮，所述干燥方法为压缩空气吹干。

4.根据权利要求1所述的一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，其特征在于：所述靶材为纯Ti靶材、纯Zn靶材、纯Sn靶材、纯Ni靶材或纯Co靶材。

5.根据权利要求1所述的一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，其特征在于：S2中所述刻蚀室条件为：刻蚀室真空度抽至5 Pa以下，气氛为氩气，气体流速为100 sccm，气体压力为10 Pa，电极与基底的距离为7-20 cm，初始基底温度为15-35℃，刻蚀功率为100-

500 W，刻蚀时间为5-30min。

6.根据权利要求1所述的一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，其特征在于：所述氧气和氩气纯度大于99.99%。

7.根据权利要求1所述的一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，其特征在于：所述载流子传输层为TiO2、ZnO、SnO2、NiOx或CoOx。