1.一种光电探测器,其特征在于,包括吸收器,所述吸收器由下到上依次包括衬底层(11)、反射层(12)和吸收层(13),其中,所述吸收层(13)为过渡金属硫化物薄膜;所述吸收层(13)上设置电极层。
2.根据权利要求1所述的一种光电探测器,其特征在于,所述衬底层(11)的材料为氧化硅。
3.根据权利要求1所述的一种光电探测器,其特征在于,所述反射层(12)的材料为金或银,厚度为50~100nm。
4.根据权利要求1所述的一种光电探测器,其特征在于,所述反射层(12)的生长方法为离子溅射或模板拆除法。
5.根据权利要求1所述的一种光电探测器,其特征在于,所述吸收层(13)的材料为过渡金属硫化物,厚度为15~30nm。
6.根据权利要求1所述的一种光电探测器,其特征在于,所述吸收层(13)的均方根粗糙度小于1nm。
7.根据权利要求1所述的一种光电探测器,其特征在于,所述吸收层(13)的生长方法为聚合物辅助沉积法。
8.根据权利要求7所述的一种光电探测器,其特征在于,所述聚合物辅助沉积法包括:按质量份数将1份乙二胺四乙酸和1份聚乙烯亚胺混合溶解在30份去离子水中形成溶液;
然后在所述溶液中按质量份数加入2份钼酸铵或2份钨酸铵,从而形成的均相聚合物前驱体;
对所述均相聚合物前驱体搅拌后进行超滤;
将所述超滤后的所述均相聚合物前驱体溶液旋涂在所述反射层(12)上并得到薄膜,其中,旋涂速度为8000rpm,旋涂时间为30s;
将所述薄膜与硫族气体进行反应后,在1h内加热至500~900℃,得到样品;
对所述样品进行退火,然后自然冷却至室温。
9.根据权利要求8所述的一种光电探测器,其特征在于,将所述薄膜与硫族气体进行反应的方法具体为:将所述薄膜放入管式炉中的石英管的内部,将硫族粉末放置于石英管入口处,并向所述石英管中通入气体,将气化后的硫族气体运载至薄膜处进行充分的反应。
10.根据权利要求9所述的一种光电探测器,其特征在于,向所述石英管中通入气体的方法为:向所述石英管中分别以60sccm通入氩气和以6~30sccm通入氢气;
其中,当所述硫族粉末为硫粉时,只向所述石英管中以60sccm通入氩气。
11.根据权利要求1所述的一种光电探测器,其特征在于,所述电极层的材料为金。
12.根据权利要求1所述的一种光电探测器,其特征在于,所述电极层包括第一电极(21)和第二电极(22),且所述第一电极(21)和所述第二电极(22)整列排布在所述吸收层(13)上。