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专利号: 2019103488908
申请人: 南京信息工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于等离激元效应波导的实时生物检测装置,其特征在于,包括硅片基底(1),所述硅片基底(1)上刻蚀有狭缝阵列,所述狭缝阵列上面溅射有金薄膜,所述金薄膜表面连接待测物质的抗体,所述硅片基底上覆盖有玻璃片(3),所述玻璃片一端连接有斜置玻璃片(12),两个玻璃片之间粘结有光纤(13),所述光纤(13)通过拉锥分路器与光源(24)和光谱仪(25)均连接。

2.根据权利要求1所述的基于等离激元效应波导的实时生物检测装置,其特征在于,所述斜置玻璃片(12)的倾斜角度为45°。

3.根据权利要求1所述的基于等离激元效应波导的实时生物检测装置,其特征在于,所述狭缝阵列是长方体、三角柱或梯形柱的狭缝阵列。

4.根据权利要求1所述的基于等离激元效应波导的实时生物检测装置,其特征在于,所述玻璃片通过设置的V型槽固定光纤。

5.根据权利要求1所述的基于等离激元效应波导的实时生物检测装置,其特征在于,所述金薄膜的膜厚10nm~60nm。

6.根据权利要求1所述的基于等离激元效应波导的实时生物检测装置,其特征在于,所述玻璃片上设置有样品输入口和样品输出口。

7.如权利要求1所述的基于等离激元效应波导的实时生物检测装置的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在真空环境下,在刻蚀有图案的硅片表面磁力溅射一层金薄膜;

(2)在不同狭缝阵列的在金薄膜的表面制备多种所需检测物质的抗体;

(3)覆盖一层玻璃片,并在玻璃片两端打孔,一端加入样品,另一端输出样品;

(4)将光纤定位粘合在玻璃片上,光纤与光谱分析仪连接。

8.根据权利要求7所述的基于等离激元效应波导的实时生物检测装置制备方法,其特征在于,所述硅片基底的制备方法包括以下步骤:(a)对硅片基底先湿法清洗,再去离子水冲洗,最后脱水烘焙,烘干,通过加热硅基底的方式直接获得氧化层;

(b)利用旋转涂胶的工艺,使用HDMS或TMSDEA在氧化层表面形成厚度均匀,附着性强的光刻胶薄膜,胶膜干燥后进行曝光,利用显影技术将未感光的负胶或感光的正胶溶解去除,显现出所需的图形;

(c)利用浓硫酸氧化表面,再用等离子体轰击除去表面的氧化层,利用感应耦合等离子体刻蚀技术进行深刻蚀,利用等离子体将光刻胶去除;

(d)感应耦合等离子体刻蚀方法进行深刻蚀,利用等离子体将光刻胶去除。

9.根据权利要求7所述的基于等离激元效应波导的实时生物检测装置制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中制备抗体具体包括:在溅射好金薄膜的通道中,通入硼酸盐缓冲液

3-5分钟;通入抗体并去除多余的硼酸盐缓冲液,在静止状态下让抗体和金薄膜共培养,让抗体连接到金薄膜上;通入硼酸盐缓冲液冲走未反应的抗体,即在金薄膜的表面制备得到抗体。

10.根据权利要求7所述的基于等离激元效应波导的实时生物检测装置制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中在水平放置的玻璃片上开V型槽对应于不同的通道,利用45°倾斜的玻璃片以及V型槽对光纤的位置进行定位,光纤的一边涂光纤粘合剂与V型槽进行粘合,即完成光纤定位粘合。