1.一种大面积转移制备纳米结构的方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:以Al作为基底,采用两次阳极氧化法制备单通AAO多孔纳米结构模板,所述单通AAO多孔纳米结构模板具有AAO/Al复合结构;
S2:对S1步骤中的单通AAO多孔纳米结构模板表面进行PMMA旋涂,得到PMMA/AAO/Al复合结构;
S3:将经过S2步骤处理的单通AAO多孔纳米结构模板漂浮于浓度不大于0.1mol/L的CuCl2溶液表面,以Al基底接触液面,在常温下去除Al基底后,CuCl2溶液变为CuCl2+AlCl3溶液,得到PMMA/AAO薄膜;
S4:将经过亲水处理的目标基片放入CuCl2+AlCl3溶液底部,使PMMA/AAO薄膜附着至目标基片上,进行AAO纳米结构转移;
S5:将经过S4步骤处理的目标基片取出,去除PMMA层,得到AAO单通膜层,再采用干法刻蚀制备得到双通AAO纳米多孔薄膜;
S6:以S5步骤制备得到的双通AAO纳米多孔薄膜为掩膜,再通过干法刻蚀在目标基片表面获得纳米结构;
或以S5步骤制备得到的双通AAO纳米多孔薄膜为模板,进行镀膜后,再去除双通AAO纳米多孔薄膜,以镀膜作为掩膜,再通过干法刻蚀在目标基片表面获得纳米结构。
2.根据权利要求1所述的一种大面积转移制备纳米结构的方法,其特征在于,所述S6步骤中的纳米结构为孔型、圆柱型、抛物线型、类圆锥型中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的一种大面积转移制备纳米结构的方法,其特征在于,所述S2步骤具体为:对S1步骤中的单通AAO多孔纳米结构模板进行两次旋涂,第一次旋涂采用5%~
10%PMMA-苯甲醚溶液进行填充及包覆,并于150℃条件下烘干,再采用15%~20%PMMA-苯甲醚溶液进行第二次旋涂,并于150℃条件下烘干。
4.根据权利要求3所述的一种大面积转移制备纳米结构的方法,其特征在于,所述第一次旋涂和第二次旋涂的转速均为2000~6000rad/min,持续时间均为1分钟。
5.根据权利要求1所述的一种大面积转移制备纳米结构的方法,其特征在于,所述S4步骤具体为:将经过亲水处理的目标基片放入CuCl2+AlCl3溶液底部,然后利用排水法排出CuCl2+AlCl3溶液,使PMMA/AAO薄膜随着CuCl2+AlCl3溶液以不大于0.5cm/s的速度均速下降,直至PMMA/AAO薄膜附着至目标基片表面,进行AAO纳米结构转移。
6.根据权利要求1所述的一种大面积转移制备纳米结构的方法,其特征在于,所述S5步骤具体为:将经过S4步骤处理的目标基片取出,去除PMMA层,得到AAO单通膜层,再采用RIE干法刻蚀,去除Al2O3阻挡层,在目标基片表面获得双通AAO纳米多孔薄膜。
7.根据权利要求6所述的一种大面积转移制备纳米结构的方法,其特征在于,所述AAO单通膜层的厚度不大于500nm。