1.一种原位失效分析样品台,其特征在于,包括:
换向部,其包括第一锥形齿轮和第二锥形齿轮,所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮啮合;第一锥形齿轮套设固定在第一齿轮轴上;第二锥形齿轮套设固定在第二齿轮轴上;
夹持部,其安装在第二齿轮轴端部,用于夹持样品;
驱动部,其与第一齿轮轴相连,用于驱动第一锥形齿轮转动,带动第二锥形齿轮原位转动,进而带动样品绕第二齿轮轴360度转动,以实现样品的原位失效分析;
所述原位失效分析样品台,还包括:支撑部;
所述支撑部由两个结构相同的支撑结构固定连接而成;
所述支撑结构包括底部和侧壁,所述底部开设有半圆豁口,所述半圆豁口的半径大于第一锥形齿轮的半径;侧壁固定在底部上,所述侧壁的两个端面均设置有至少一个凹槽,用于支撑第二齿轮轴;
所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮两者垂直啮合。
2.如权利要求1所述的一种原位失效分析样品台,其特征在于,所述支撑部用于支撑换向部。
3.如权利要求1所述的一种原位失效分析样品台,其特征在于,所述凹槽的半径大于或等于第二齿轮轴。
4.如权利要求1所述的一种原位失效分析样品台,其特征在于,所述换向部设置在底座上,所述驱动部设置在底座内。
5.如权利要求1所述的一种原位失效分析样品台,其特征在于,所述驱动部还与控制器相连,所述控制器与无线遥控器相连。
6.如权利要求5所述的一种原位失效分析样品台,其特征在于,所述驱动部包括驱动电机,所述驱动电机通过驱动芯片与控制器相连。
7.一种扫描电镜,其特征在于,包括如权利要求1‑6中任一项所述的原位失效分析样品台。